快速响应低耗气真空集成元件的研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-17页 |
| ·气动真空系统的特点及应用 | 第8-9页 |
| ·本课题研究背景和意义 | 第9-11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-15页 |
| ·本课题研究的主要内容 | 第15-17页 |
| 2 新型先导式切换控制阀的结构研究 | 第17-30页 |
| ·分离式双喷嘴真空系统工作原理及性能分析 | 第17-19页 |
| ·真空发生器的工作原理 | 第17-18页 |
| ·分离式双喷嘴真空系统工作原理分析 | 第18-19页 |
| ·分离式双喷嘴真空系统性能分析 | 第19页 |
| ·快速响应低耗气真空集成元件的功能需求分析 | 第19-20页 |
| ·切换控制阀结构方案研究 | 第20-26页 |
| ·直接反馈切换方案 | 第22-23页 |
| ·先导反馈切换方案Ⅰ | 第23-24页 |
| ·先导反馈切换方案Ⅱ | 第24-25页 |
| ·方案比较与选择 | 第25-26页 |
| ·切换控制阀结构设计 | 第26-29页 |
| ·双喷嘴先导式切换控制阀总体结构设计 | 第26-28页 |
| ·膜片结构形式及固定方式分析 | 第28页 |
| ·切换控制阀的密封研究 | 第28-29页 |
| ·小结 | 第29-30页 |
| 3 切换控制阀动态模型研究和仿真分析 | 第30-43页 |
| ·系统工作原理 | 第30-31页 |
| ·先导部分数学模型 | 第31-35页 |
| ·先导阀芯膜片组件动力学分析 | 第31-33页 |
| ·先导阀芯膜片组件左腔(真空腔)热力学分析 | 第33-35页 |
| ·切换部分数学模型 | 第35-38页 |
| ·切换阀芯动力学分析 | 第35-36页 |
| ·切换阀芯左腔热力学分析 | 第36-38页 |
| ·系统理论耗气量 | 第38-41页 |
| ·系统仿真 | 第41-42页 |
| ·小结 | 第42-43页 |
| 4 双喷嘴先导式切换控制阀基本性能测试 | 第43-60页 |
| ·试验硬件组成 | 第43-44页 |
| ·先导部分测试 | 第44-49页 |
| ·试验内容及方案 | 第44-45页 |
| ·先导部分基本性能测试 | 第45-47页 |
| ·影响先导阀芯运动的因素 | 第47-49页 |
| ·切换部分测试 | 第49-51页 |
| ·试验内容及方案 | 第49-50页 |
| ·切换阀芯性能测试 | 第50-51页 |
| ·整体性能测试 | 第51-58页 |
| ·试验内容及方案 | 第51页 |
| ·基本性能测试 | 第51-53页 |
| ·主要结构参数对系统整体性能的影响 | 第53-58页 |
| ·小结 | 第58-60页 |
| 5 快速响应低耗气真空发生元件集成及试验比较 | 第60-71页 |
| ·概述 | 第60页 |
| ·快速响应低耗气真空集成元件整体集成 | 第60-64页 |
| ·试验集成设计 | 第60-62页 |
| ·产品集成设计 | 第62-64页 |
| ·试验对比分析 | 第64-70页 |
| ·响应时间比较分析 | 第65-66页 |
| ·耗气量比较分析 | 第66-69页 |
| ·经济性比较分析 | 第69-70页 |
| ·小结 | 第70-71页 |
| 6 结论 | 第71-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-76页 |
