真空装置数据采集系统开发研究
| 致谢 | 第1-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| ABSTRACT | 第9-10页 |
| 目录 | 第10-12页 |
| 插图清单 | 第12-13页 |
| 表格清单 | 第13-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-20页 |
| ·研究的目的与意义 | 第14页 |
| ·国内外发展状况 | 第14-19页 |
| ·镀膜机的发展 | 第14-16页 |
| ·数据采集系统的发展 | 第16页 |
| ·虚拟仪器技术的发展 | 第16-19页 |
| ·研究内容 | 第19-20页 |
| 第二章 数据采集系统与虚拟仪器技术 | 第20-30页 |
| ·数据采集系统概述 | 第20-21页 |
| ·虚拟仪器概述 | 第21-25页 |
| ·虚拟仪器的特点 | 第22-24页 |
| ·虚拟仪器的组成 | 第24-25页 |
| ·LabVIEW 概述 | 第25-29页 |
| ·LabVIEW 的特点 | 第26-27页 |
| ·LabVIEW 的基本功能 | 第27-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 真空镀膜机及其过程量监测 | 第30-38页 |
| ·真空镀膜机的构成 | 第30-32页 |
| ·真空磁控溅射镀膜机的过程量监测 | 第32-37页 |
| ·热电偶 | 第33-35页 |
| ·电离真空计 | 第35-36页 |
| ·质量流量计 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第四章 数据采集系统硬件与软件的设计 | 第38-51页 |
| ·系统总体结构设计 | 第38页 |
| ·数据采集系统硬件的设计 | 第38-42页 |
| ·数据采集卡 | 第38-39页 |
| ·传感器信号调理电路 | 第39-42页 |
| ·数据采集系统软件的设计 | 第42-50页 |
| ·前面板程序界面的设计 | 第42-43页 |
| ·程序框图的设计 | 第43-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 系统运行与实验结果 | 第51-56页 |
| ·建立数据采集虚拟通道 | 第51-52页 |
| ·程序的调试 | 第52-54页 |
| ·运行结果 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第六章 总结与展望 | 第56-58页 |
| ·全文总结 | 第56页 |
| ·展望 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第61-62页 |
