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真空测试及仪器
多孔氧化铝型标准漏孔可控制作研究
便携式真空校验仪的研制
基于MEMS的皮拉尼真空压力计研究
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高压气密封检测系统回收卸压装置及控制技术研究
电离规真空计的设计与研究
热偶规真空计的设计与研究
MEMS圆片级真空度检测器件的研究
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