| 摘要 | 第11-13页 |
| Abstract | 第13-14页 |
| 第1章 绪论 | 第15-23页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第15-16页 |
| 1.2 真空的主要应用 | 第16-18页 |
| 1.3 常见真空设备 | 第18-20页 |
| 1.4 真空容器有限元分析 | 第20-21页 |
| 1.4.1 有限元分析方法 | 第20-21页 |
| 1.4.2 有限元分析方法在真空容器设计的应用 | 第21页 |
| 1.5 课题来源及主要研究内容 | 第21-23页 |
| 1.5.1 课题来源 | 第21-22页 |
| 1.5.2 主要研究内容 | 第22页 |
| 1.5.3 研究意义 | 第22-23页 |
| 第2章 真空加热观测实验平台结构设计 | 第23-43页 |
| 2.1 真空加热观测实验平台技术指标 | 第23页 |
| 2.2 整体方案确定 | 第23-24页 |
| 2.3 真空室设计制作 | 第24-30页 |
| 2.3.1 真空腔体结构设计 | 第25-28页 |
| 2.3.2 真空观察窗设计 | 第28-30页 |
| 2.4 真空泵组设计 | 第30-32页 |
| 2.5 真空管路设计 | 第32-37页 |
| 2.6 加热部分结构设计 | 第37-40页 |
| 2.6.1 加热方式的确定 | 第37页 |
| 2.6.2 电热丝的选取和布置 | 第37-38页 |
| 2.6.3 保温层的设计制作 | 第38-39页 |
| 2.6.4 温度控制系统 | 第39-40页 |
| 2.6.5 加热部分整体结构 | 第40页 |
| 2.7 其它部件结构设计 | 第40-41页 |
| 2.7.1 显微成像系统 | 第40-41页 |
| 2.7.2 隔振平台 | 第41页 |
| 2.8 本章小结 | 第41-43页 |
| 第3章 真空腔体强度仿真及结构优化 | 第43-61页 |
| 3.1 有限元理论概述 | 第43-44页 |
| 3.2 ANSYS Workbench软件简介 | 第44-46页 |
| 3.2.1 前处理 | 第45页 |
| 3.2.2 求解 | 第45页 |
| 3.2.3 后处理 | 第45-46页 |
| 3.3 真空腔体结构强度有限元分析 | 第46-49页 |
| 3.3.1 材料参数的确定 | 第46页 |
| 3.3.2 几何模型的建立 | 第46页 |
| 3.3.3 网格的划分 | 第46-47页 |
| 3.3.4 约束施加 | 第47页 |
| 3.3.5 结果查看分析 | 第47-49页 |
| 3.4 真空腔体结构优化分析 | 第49-59页 |
| 3.4.1 真空腔体底部结构优化 | 第49-55页 |
| 3.4.2 真空腔体抽气口开孔位置和抽气口大小优化 | 第55-59页 |
| 3.5 本章小结 | 第59-61页 |
| 第4章 技术参数验证 | 第61-73页 |
| 4.1 整体结构组装 | 第61页 |
| 4.2 真空技术指标验证 | 第61-62页 |
| 4.3 显微观测技术指标验证 | 第62-63页 |
| 4.4 温度技术指标验证 | 第63-71页 |
| 4.4.1 温度均匀性概述 | 第63-65页 |
| 4.4.2 测温点的布置 | 第65-66页 |
| 4.4.3 测温方法 | 第66-67页 |
| 4.4.4 测温热电偶的选型 | 第67-68页 |
| 4.4.5 测温法兰设计制作 | 第68-69页 |
| 4.4.6 测温实验 | 第69-71页 |
| 4.5 本章小结 | 第71-73页 |
| 第5章 总结与展望 | 第73-75页 |
| 5.1 总结 | 第73-74页 |
| 5.2 创新点 | 第74页 |
| 5.3 展望 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-79页 |
| 致谢 | 第79-81页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的学术论文 | 第81-82页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第82页 |