质谱仪真空测量与控制系统的研究与开发
| 内容提要 | 第1-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-14页 |
| ·课题研究背景 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-12页 |
| ·课题研究的意义 | 第12页 |
| ·课题的来源及主要研究内容 | 第12-14页 |
| 第二章 系统工作原理及总体方案设计 | 第14-26页 |
| ·真空测量控制原理 | 第14页 |
| ·冷阴极电离真空规概述 | 第14-17页 |
| ·反磁控冷阴极电离真空工作原理 | 第15-16页 |
| ·ZJ-148 型冷规的参数 | 第16-17页 |
| ·其它真空规概述 | 第17-20页 |
| ·真空规925C | 第17页 |
| ·真空规979 | 第17-18页 |
| ·真空计Micro-Ion Plus | 第18-19页 |
| ·真空规PKR251 | 第19-20页 |
| ·分子泵概述 | 第20-21页 |
| ·总体方案设计 | 第21-26页 |
| ·冷规测试的设计 | 第21-23页 |
| ·通用真空计及真空控制系统的设计 | 第23-26页 |
| 第三章 真空规测量电路设计 | 第26-37页 |
| ·真空度调节电路 | 第26-28页 |
| ·D07-78 型MFC 性能指标 | 第26-27页 |
| ·MFC 的控制电路 | 第27-28页 |
| ·信号处理电路设计 | 第28-31页 |
| ·ZJ-148 冷阴极电离规电流测量的电路设计 | 第28-30页 |
| ·PKR251 测量电压电路设计 | 第30-31页 |
| ·信号采集模块设计 | 第31-35页 |
| ·AD7705 简介 | 第31-32页 |
| ·AD7705 读写时序及片内寄存器 | 第32-34页 |
| ·AD7705 电路设计 | 第34-35页 |
| ·系统电源设计 | 第35-37页 |
| ·高压电源 | 第35页 |
| ·低压电源 | 第35-37页 |
| 第四章 串口通讯设计 | 第37-42页 |
| ·串口通讯概述 | 第37-38页 |
| ·真空规的串口控制设计 | 第38-42页 |
| ·RS-232 通讯的设计 | 第38-40页 |
| ·RS-485 通讯的设计 | 第40-42页 |
| 第五章 系统程序设计 | 第42-50页 |
| ·MSP430 系统程序设计 | 第42-45页 |
| ·定时器的设置 | 第42-43页 |
| ·DAC 模块设置 | 第43-44页 |
| ·中断的设置 | 第44页 |
| ·USART 模块设置 | 第44-45页 |
| ·数据采集程序 | 第45-46页 |
| ·串口通信设置 | 第46-48页 |
| ·母口接收子口发送流程 | 第46-47页 |
| ·子口接收母口发送流程 | 第47页 |
| ·RS-232 串口程序流程 | 第47-48页 |
| ·上位机应用程序设计 | 第48-50页 |
| 第六章 系统测试与结果分析 | 第50-67页 |
| ·真空规PKR251 的测试 | 第50-52页 |
| ·ZJ-148 冷规测试方法 | 第52-53页 |
| ·ZJ-148 冷规单次测试分析 | 第53-58页 |
| ·一月份测试分析 | 第53-56页 |
| ·三月份测试分析 | 第56-57页 |
| ·两次测试比较 | 第57-58页 |
| ·ZJ-148 冷规多次测试分析 | 第58-61页 |
| ·短期内多次测试分析 | 第58-60页 |
| ·长期测试比较分析 | 第60-61页 |
| ·ZJ-148 冷规测试结果分析 | 第61-67页 |
| ·短期内测试结果分析 | 第61-65页 |
| ·长期测试结果比较分析 | 第65-67页 |
| 第七章 全文总结及对后续研究的建议 | 第67-69页 |
| ·全文总结 | 第67-68页 |
| ·对下一步工作的建议 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-71页 |
| 摘要 | 第71-73页 |
| ABSTRACT | 第73-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
