物理尺寸对MEMS皮拉尼真空计性能的影响

摘要	第1-6页
Abstract	第6-10页
1 引言	第10-22页
·真空计介绍	第10-11页
·MEMS 技术介绍	第11-13页
·MEMS 皮拉尼真空计的研究进展	第13-20页
·本论文的研究内容	第20-22页
2 原理和设计	第22-30页
·传热学原理	第22-26页
·结构和参数设计	第26-30页
3 加工工艺和检测封装	第30-34页
·加工与制备	第30-33页
·检测和封装	第33-34页
4 测试方法和测试设备	第34-42页
·测试设备简介	第34-36页
·四线法电阻测量	第36-38页
·电阻温度特性测试方法与设备	第38-40页
·真空度传感性能测试方法与设备	第40-42页
5 结果与讨论	第42-61页
·电阻特性分析及其结构尺寸效应	第42-43页
·电阻温度特性及其结构尺寸效应	第43-48页
·温度响应时间研究	第48-50页
·物理尺寸对真空度传感性能的影响	第50-58页
·标准结构	第50-51页
·不同长度	第51-53页
·不同宽度	第53-56页
·不同厚度	第56-57页
·不同间隙	第57-58页
·标准结构器件的重复性测试结果	第58-61页
6 结论	第61-63页
参考文献	第63-66页
攻读硕士期间发表的论文及所取得的研究成果	第66-67页
致谢	第67-68页