基于MEMS的皮拉尼真空压力计研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-22页 |
| 1.1 引言 | 第8-9页 |
| 1.2 MEMS真空气压计及其分类 | 第9-11页 |
| 1.3 MEMS皮拉尼真空传感器及其研究进展 | 第11-20页 |
| 1.3.1 MEMS皮拉尼传感器的结构分类 | 第11-13页 |
| 1.3.2 国际研究进展 | 第13-16页 |
| 1.3.3 国内研究进展 | 第16-20页 |
| 1.4 本论文的研究意义及研究内容 | 第20-22页 |
| 1.4.1 研究意义 | 第20-21页 |
| 1.4.2 主要研究内容 | 第21-22页 |
| 第二章 理论分析 | 第22-27页 |
| 2.1 引言 | 第22页 |
| 2.2 微尺度下真空气体传热模型 | 第22-23页 |
| 2.3 器件热力学性能分析 | 第23-25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-27页 |
| 第三章 器件设计及制备 | 第27-41页 |
| 3.1 引言 | 第27页 |
| 3.2 器件综合设计 | 第27-29页 |
| 3.2.1 结构设计 | 第27-28页 |
| 3.2.2 材料选择 | 第28-29页 |
| 3.3 器件工艺流程设计 | 第29-32页 |
| 3.4 掩膜板版图设计 | 第32-34页 |
| 3.5 器件工艺流片 | 第34-40页 |
| 3.5.1 光刻工艺 | 第34-35页 |
| 3.5.2 氮化硅干法刻蚀 | 第35-38页 |
| 3.5.3 硅湿法腐蚀 | 第38-39页 |
| 3.5.4 金属腐蚀工艺 | 第39-40页 |
| 3.6 本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 器件性能测试与结果分析 | 第41-57页 |
| 4.1 引言 | 第41页 |
| 4.2 测试平台的搭建 | 第41-44页 |
| 4.3 测试与结果分析 | 第44-56页 |
| 4.3.1 常压下加热丝阻值测量 | 第45-47页 |
| 4.3.2 器件的气压-阻值关系曲线测试 | 第47-50页 |
| 4.3.3 器件的线性度计算 | 第50页 |
| 4.3.4 发热板宽度对器件传感性能的影响 | 第50-51页 |
| 4.3.5 发热板间隙对器件传感性能的影响 | 第51-53页 |
| 4.3.6 镂空结构对器件传感性能的影响 | 第53-55页 |
| 4.3.7 器件重复性测试 | 第55-56页 |
| 4.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 研究总结与工作展望 | 第57-59页 |
| 5.1 本论文完成的主要工作 | 第57-58页 |
| 5.2 存在的问题以及工作展望 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-65页 |
| 在学期间的研究成果 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66页 |
