热力膨胀阀氦质谱自动检漏系统的研制
致谢 | 第1-6页 |
摘要 | 第6-7页 |
Abstract | 第7-14页 |
1 绪论 | 第14-19页 |
·课题研究的目标和意义 | 第14-15页 |
·国内外研究现状 | 第15-17页 |
·课题研究的主要内容和创新点 | 第17-18页 |
·本章小结 | 第18-19页 |
2 氦质谱检漏技术综述 | 第19-27页 |
·氦质谱检漏的基本知识 | 第19-21页 |
·氦质谱检漏的漏率 | 第21-22页 |
·氦质谱检漏方法 | 第22-26页 |
·本章小结 | 第26-27页 |
3 热力膨胀阀氦质谱自动检漏系统整机设计方案 | 第27-59页 |
·检测对象及整机设计要求 | 第27-28页 |
·热力膨胀阀氦质谱自动检漏系统整机方案 | 第28-31页 |
·气路系统设计 | 第31-39页 |
·配气单元 | 第31-33页 |
·真空单元 | 第33-39页 |
·回收单元 | 第39页 |
·电气控制系统的设计 | 第39-45页 |
·多通道真空测试仪的设计 | 第45-51页 |
·热力膨胀阀氦质谱自动检漏系统软件设计 | 第51-58页 |
·PLC 软件设计 | 第51-54页 |
·人机交互界面软件设计 | 第54-58页 |
·本章小结 | 第58-59页 |
4 氦质谱检漏过程中的真空分析及计算 | 第59-68页 |
·真空状态的分类与判断 | 第59-61页 |
·真空管路流导的计算 | 第61-63页 |
·抽气过程中的真空计算 | 第63-67页 |
·本章小结 | 第67-68页 |
5 氦质谱检漏真空结构的力学分析 | 第68-75页 |
·真空室的壁面厚度计算和强度校核 | 第68-69页 |
·管道壁厚的计算 | 第69-71页 |
·管道临界压力计算 | 第71页 |
·管道开孔加强设计计算 | 第71-74页 |
·本章小结 | 第74-75页 |
6 实验结果及研究 | 第75-82页 |
·氦质谱检漏系统的不确定度分析 | 第75-78页 |
·实验数据及分析 | 第78-81页 |
·本章小结 | 第81-82页 |
7 总结和展望 | 第82-84页 |
·总结 | 第82-83页 |
·展望 | 第83-84页 |
参考文献 | 第84-87页 |
作者简介 | 第87页 |