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热力膨胀阀氦质谱自动检漏系统的研制

致谢第1-6页
摘要第6-7页
Abstract第7-14页
1 绪论第14-19页
   ·课题研究的目标和意义第14-15页
   ·国内外研究现状第15-17页
   ·课题研究的主要内容和创新点第17-18页
   ·本章小结第18-19页
2 氦质谱检漏技术综述第19-27页
   ·氦质谱检漏的基本知识第19-21页
   ·氦质谱检漏的漏率第21-22页
   ·氦质谱检漏方法第22-26页
   ·本章小结第26-27页
3 热力膨胀阀氦质谱自动检漏系统整机设计方案第27-59页
   ·检测对象及整机设计要求第27-28页
   ·热力膨胀阀氦质谱自动检漏系统整机方案第28-31页
   ·气路系统设计第31-39页
     ·配气单元第31-33页
     ·真空单元第33-39页
     ·回收单元第39页
   ·电气控制系统的设计第39-45页
   ·多通道真空测试仪的设计第45-51页
   ·热力膨胀阀氦质谱自动检漏系统软件设计第51-58页
     ·PLC 软件设计第51-54页
     ·人机交互界面软件设计第54-58页
   ·本章小结第58-59页
4 氦质谱检漏过程中的真空分析及计算第59-68页
   ·真空状态的分类与判断第59-61页
   ·真空管路流导的计算第61-63页
   ·抽气过程中的真空计算第63-67页
   ·本章小结第67-68页
5 氦质谱检漏真空结构的力学分析第68-75页
   ·真空室的壁面厚度计算和强度校核第68-69页
   ·管道壁厚的计算第69-71页
   ·管道临界压力计算第71页
   ·管道开孔加强设计计算第71-74页
   ·本章小结第74-75页
6 实验结果及研究第75-82页
   ·氦质谱检漏系统的不确定度分析第75-78页
   ·实验数据及分析第78-81页
   ·本章小结第81-82页
7 总结和展望第82-84页
   ·总结第82-83页
   ·展望第83-84页
参考文献第84-87页
作者简介第87页

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