| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-13页 |
| 1.1 课题背景与意义 | 第9页 |
| 1.2 真空测量技术发展及研究现状 | 第9-10页 |
| 1.3 研究内容及设计指标 | 第10-11页 |
| 1.4 论文组织 | 第11-13页 |
| 第二章 真空测量基础 | 第13-19页 |
| 2.1 真空区域划分 | 第13页 |
| 2.2 真空测量的特点 | 第13-14页 |
| 2.3 真空测量方案 | 第14-18页 |
| 2.3.1 中、低真空测量方案 | 第15页 |
| 2.3.2 高真空测量方案 | 第15-17页 |
| 2.3.3 系统复合方案 | 第17-18页 |
| 2.4 本章小结 | 第18-19页 |
| 第三章 数字闭环稳发射电路设计及其控制算法研究 | 第19-31页 |
| 3.1 稳发射电路需求及设计指标 | 第19页 |
| 3.2 数字闭环控制的稳发射电流方案 | 第19-22页 |
| 3.2.1 电离规稳发射电路研究 | 第19-21页 |
| 3.2.2 数字闭环控制稳发射电路设计 | 第21-22页 |
| 3.3 控制算法在稳发射电流中的应用研究 | 第22-24页 |
| 3.3.1 被控对象特点分析 | 第22页 |
| 3.3.2 PID和模糊控制算法在稳发射电流中的应用分析 | 第22-24页 |
| 3.4 稳发射电流Fuzzy-PID控制器设计 | 第24-29页 |
| 3.4.1 控制器结构 | 第24-25页 |
| 3.4.2 参数模糊自整定PID控制器设计 | 第25-27页 |
| 3.4.3 稳发射电流Fuzzy-PID控制器仿真分析 | 第27-29页 |
| 3.5 本章小结 | 第29-31页 |
| 第四章 高真空离子流信号检测电路研究与设计 | 第31-47页 |
| 4.1 电离规离子流信号的产生 | 第31-33页 |
| 4.1.1 热电子发射与气体电离 | 第31-32页 |
| 4.1.2 电离规离子流信号的量级范围 | 第32-33页 |
| 4.2 微弱电流测量的影响因素 | 第33-36页 |
| 4.2.1 电子系统的固有噪声 | 第33-35页 |
| 4.2.2 环境干扰噪声 | 第35-36页 |
| 4.3 离子流信号检测方案研究 | 第36-38页 |
| 4.3.1 I-F转换法 | 第36-37页 |
| 4.3.2 I-V转换法 | 第37-38页 |
| 4.4 离子流信号检测电路设计 | 第38-45页 |
| 4.4.1 微弱电流信号检测方案对比 | 第38-39页 |
| 4.4.2 高阻式I-V转换法的电路改进 | 第39-41页 |
| 4.4.3 离子流信号检测电路硬件实现 | 第41-45页 |
| 4.5 本章小结 | 第45-47页 |
| 第五章 复合真空计系统实现 | 第47-55页 |
| 5.1 复合真空计硬件设计与实现 | 第47-51页 |
| 5.1.1 复合真空计硬件设计框图 | 第47-48页 |
| 5.1.2 热阻规驱动电路设计 | 第48页 |
| 5.1.3 控制模块电路设计 | 第48-49页 |
| 5.1.4 按键及显示电路设计 | 第49页 |
| 5.1.5 系统电源设计 | 第49-51页 |
| 5.2 单片机控制程序设计 | 第51-53页 |
| 5.3 本章小结 | 第53-55页 |
| 第六章 系统测试与分析 | 第55-63页 |
| 6.1 稳发射电路测试与分析 | 第55-56页 |
| 6.1.1 发射电流数值误差 | 第55-56页 |
| 6.1.2 发射电流时间稳定性测试 | 第56页 |
| 6.2 离子流信号检测电路测试 | 第56-59页 |
| 6.2.1 测试内容及测试工具 | 第56-57页 |
| 6.2.2 电路性能测试与分析 | 第57-59页 |
| 6.3 系统整机测试 | 第59-62页 |
| 6.3.1 热阻规测量模块测试与分析 | 第59-60页 |
| 6.3.2 电离规测量模块测试与分析 | 第60-62页 |
| 6.3.3 规管自动保护功能测试 | 第62页 |
| 6.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 第七章 总结与展望 | 第63-65页 |
| 7.1 总结 | 第63页 |
| 7.2 展望 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-69页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第69页 |