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安徽省真空计量站建设与宽量程真空计研制

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-7页
致谢第7-8页
目录第8-10页
插图清单第10-12页
表格清单第12-13页
第一章 绪论第13-20页
   ·引言第13页
   ·真空计量的发展概况第13-19页
     ·真空计的发展概况第13-17页
     ·真空校准的发展概况与意义第17-19页
   ·本课题的意义和内容第19-20页
第二章 安徽省真空测量检定站筹建第20-35页
   ·真空测量检定的理论基础第20-23页
     ·真空计校准二等真空标准第20-21页
     ·静态膨胀法第21-23页
     ·副标准真空计第23页
   ·真空测量检定站的校准系统第23-27页
     ·真空测量检定站设备第23-26页
     ·系统检漏第26-27页
   ·校准比对实验及数据处理第27-34页
     ·MKS 薄膜规比对实验及数据处理第27-29页
     ·副标准真空计比对实验及数据处理第29-31页
     ·静态真空膨胀法实验及数据处理第31-34页
   ·本章小结第34-35页
第三章 宽量程真空计的设计第35-71页
   ·宽量程真空计第35-36页
   ·宽量程真空计传感器第36-39页
     ·热偶规第36-37页
     ·电离规第37-38页
     ·传感器参数第38-39页
   ·真空计控制电路设计第39-66页
     ·控制电路元件选择第39-43页
     ·系统电源供给第43-44页
     ·采样信号输出放大第44-48页
     ·采样信号选择第48-49页
     ·A/D 转换第49-52页
     ·单片机输入信号处理第52-58页
     ·显示输出第58-63页
     ·电离规运行状态控制第63-64页
     ·单片机外围电路第64-66页
   ·宽量程真空计控制软件第66-68页
     ·系统的软件初始化第66-67页
     ·系统中断服务第67-68页
   ·实验及结果第68-70页
   ·本章小结第70-71页
第四章 真空计的发展与展望第71-76页
   ·真空传感器的新发展第71-75页
     ·真空测量环境带有带电粒子第71-75页
     ·全封闭真空测量环境第75页
   ·真空测量的新发展第75页
   ·本章小结第75-76页
第五章 总结与展望第76-78页
   ·真空测量二级站的建设总结第76页
   ·宽量程真空计的设计总结第76-77页
   ·展望第77-78页
附录第78-85页
参考文献第85-88页
攻读硕士学位期间发表的论文第88-89页

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