基于AAO的标准漏孔制作及其性能研究
| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| ABSTRACT | 第9页 |
| 第一章 绪论 | 第15-28页 |
| 1.1 标准漏孔的作用 | 第15-19页 |
| 1.1.1 利用标准漏孔校准检漏仪 | 第15-16页 |
| 1.1.2 利用标准漏孔校准真空计 | 第16-17页 |
| 1.1.3 利用标准漏孔测量真空泵抽速 | 第17-19页 |
| 1.2 标准漏孔的分类及特点 | 第19-21页 |
| 1.2.1 通道型标准漏孔 | 第19-20页 |
| 1.2.2 渗透型标准漏孔 | 第20页 |
| 1.2.3 标准漏孔性能比较及存在的问题 | 第20-21页 |
| 1.3 分子流标准漏孔研究现状 | 第21-24页 |
| 1.3.1 不锈钢烧结滤芯 | 第21-22页 |
| 1.3.2 聚合物微流控通道 | 第22页 |
| 1.3.3 软木塞 | 第22-23页 |
| 1.3.4 聚焦离子束刻蚀技术 | 第23-24页 |
| 1.4 阳极多孔氧化铝（AAO）简介 | 第24-26页 |
| 1.4.1 AAO的制备方法 | 第25页 |
| 1.4.2 AAO的结构特点 | 第25-26页 |
| 1.4.3 AAO的应用 | 第26页 |
| 1.5 本文主要研究内容 | 第26-28页 |
| 第二章 漏孔流导的理论计算 | 第28-38页 |
| 2.1 真空简介 | 第28-29页 |
| 2.1.1 真空区域的划分 | 第28页 |
| 2.1.2 真空技术的应用 | 第28-29页 |
| 2.2 微纳流动简介 | 第29-31页 |
| 2.2.1 微纳通道内气体流态的划分 | 第29-30页 |
| 2.2.2 微纳通道内气体的流动特点及研究方法 | 第30-31页 |
| 2.3 气体流量与管道流导 | 第31-32页 |
| 2.3.1 气体的流量 | 第31页 |
| 2.3.2 管道的流导 | 第31-32页 |
| 2.4 分子流下长圆管道流导的计算 | 第32-33页 |
| 2.5 标准漏孔校准方法 | 第33-37页 |
| 2.5.1 定容法 | 第33-34页 |
| 2.5.2 恒压法 | 第34-36页 |
| 2.5.3 比较法 | 第36-37页 |
| 2.6 本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 标准漏孔的制备 | 第38-49页 |
| 3.1 实验方案 | 第38页 |
| 3.2 实验材料及设备 | 第38-43页 |
| 3.2.1 实验材料 | 第38-41页 |
| 3.2.2 实验设备 | 第41-43页 |
| 3.3 实验步骤 | 第43-48页 |
| 3.3.1 AAO与硅片的连接 | 第44页 |
| 3.3.2 制备具有特定有效面积的AAO | 第44-46页 |
| 3.3.3 漏孔封装 | 第46-48页 |
| 3.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 差压法标准漏孔校准装置 | 第49-60页 |
| 4.1 差压法标准漏孔校准方法 | 第49-50页 |
| 4.1.1 差压法标准漏孔校准原理 | 第49-50页 |
| 4.1.2 差压法的优点 | 第50页 |
| 4.2 差压法标准漏孔校准装置 | 第50-57页 |
| 4.2.1 抽气系统 | 第51-52页 |
| 4.2.2 校准系统 | 第52-55页 |
| 4.2.3 数据采集系统 | 第55-57页 |
| 4.3 校准步骤及漏率计算 | 第57-59页 |
| 4.3.1 校准步骤 | 第57-58页 |
| 4.3.2 漏率计算 | 第58页 |
| 4.3.3 注意事项 | 第58-59页 |
| 4.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 实验结果及分析 | 第60-68页 |
| 5.1 AAO镀膜结果及分析 | 第60页 |
| 5.2 漏孔流导测试结果及分析 | 第60-66页 |
| 5.2.1 漏孔1测量结果 | 第61-63页 |
| 5.2.2 漏孔2测量结果 | 第63-65页 |
| 5.2.3 测量误差分析 | 第65-66页 |
| 5.3 不确定度评定 | 第66页 |
| 5.4 本章小结 | 第66-68页 |
| 第六章 总结与展望 | 第68-70页 |
| 6.1 总结 | 第68-69页 |
| 6.2 不足与展望 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第74-75页 |
