MEMS圆片级真空度检测器件的研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
1 绪论	第9-19页
·课题来源	第9页
·MEMS 简介	第9-11页
·MEMS 真空封装概述	第11-16页
·国内外真空度检测器件的研究	第16-17页
·本文的主要研究工作	第17-19页
2 皮拉尼计的设计与结果分析	第19-35页
·MEMS 器件真空度检测器件及其原理	第19-20页
·结构设计与分析	第20-25页
·加工工艺流程	第25-27页
·实验设备	第27-30页
·真空度标定与结果分析	第30-34页
·本章小结	第34-35页
3. 皮拉尼计的键合实验与泄露率检测	第35-43页
·键合实验	第35-39页
·泄漏率检测方法	第39-41页
·泄漏率检测结果分析	第41-42页
·本章小结	第42-43页
4. 皮拉尼计的应用-MEMS 热式流量计	第43-51页
·流量计概述	第43-46页
·国内外研究状况	第46-47页
·实验装置	第47-48页
·实验结果与分析	第48-50页
·本章小结	第50-51页
5 总结与展望	第51-53页
·全文总结	第51-52页
·今后工作的建议和展望	第52-53页
致谢	第53-54页
参考文献	第54-59页
附录 1 攻读硕士学位期间科研成果	第59页