| 致谢 | 第6-7页 |
| 摘要 | 第7-8页 |
| abstract | 第8页 |
| 第一章 绪论 | 第13-30页 |
| 1.1 传统标准漏孔 | 第13-15页 |
| 1.1.1 毛细管型标准漏孔 | 第14页 |
| 1.1.2 金属压扁型标准漏孔 | 第14-15页 |
| 1.1.3 锻压烧结多孔型标准漏孔 | 第15页 |
| 1.1.4 玻璃铂丝型标准漏孔 | 第15页 |
| 1.2 标准漏孔校准方法 | 第15-18页 |
| 1.2.1 定容升压法 | 第15-16页 |
| 1.2.2 定压法 | 第16-17页 |
| 1.2.3 比对法 | 第17-18页 |
| 1.3 新型分子流标准漏孔 | 第18-25页 |
| 1.3.1 烧结不锈钢 | 第18-20页 |
| 1.3.2 纳米孔 | 第20-21页 |
| 1.3.3 软橡木塞 | 第21-22页 |
| 1.3.4 纳米级流动通道 | 第22-24页 |
| 1.3.5 多孔阳极氧化铝型标准漏孔 | 第24-25页 |
| 1.4 标准漏孔的应用 | 第25-28页 |
| 1.4.1 校准标准漏孔 | 第25-26页 |
| 1.4.2 标准漏孔校准四极杆质谱计 | 第26-27页 |
| 1.4.3 标准漏孔校准氦质谱检漏仪 | 第27-28页 |
| 1.5 本文研究内容 | 第28-30页 |
| 第二章 标准漏孔流导的计算理论 | 第30-37页 |
| 2.1 真空区域划分 | 第30页 |
| 2.2 流动状态划分 | 第30-32页 |
| 2.3 长圆管道流导理论计算 | 第32页 |
| 2.4 常用气体的平均自由程计算和多孔氧化铝空隙率表征 | 第32-34页 |
| 2.5 动态定容法 | 第34-36页 |
| 2.6 本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 泄漏元件制作 | 第37-50页 |
| 3.1 .实验材料与实验设备 | 第37-41页 |
| 3.1.1 实验材料 | 第37-38页 |
| 3.1.2 实验设备 | 第38-41页 |
| 3.2 选择性镀膜膜厚的确定 | 第41-48页 |
| 3.2.1 实验材料处理 | 第41-42页 |
| 3.2.2 薄膜沉积 | 第42页 |
| 3.2.3 封装 | 第42-43页 |
| 3.2.4 漏率测量 | 第43-46页 |
| 3.2.5 结果分析 | 第46-47页 |
| 3.2.6 Torr-seal出气分析 | 第47-48页 |
| 3.3 本章小结 | 第48-50页 |
| 第四章 制作流导可控的标准漏孔及其校准 | 第50-60页 |
| 4.1 实验流程 | 第50-52页 |
| 4.2 流导测量 | 第52-58页 |
| 4.2.1 差压法简介 | 第52-53页 |
| 4.2.2 差压法校准系统 | 第53-56页 |
| 4.2.3 校准方法 | 第56-58页 |
| 4.3 动态定容升压法测量系统 | 第58页 |
| 4.4 本章小结 | 第58-60页 |
| 第五章 校准结果与分析 | 第60-66页 |
| 5.1 光学显微镜结果分析 | 第60-61页 |
| 5.2 差压法漏孔标定结果 | 第61-62页 |
| 5.3 面积与流导的比较 | 第62-63页 |
| 5.4 动态定容升压法校准结果 | 第63页 |
| 5.5 误差分析 | 第63-65页 |
| 5.6 本章小结 | 第65-66页 |
| 第六章 总结与展望 | 第66-68页 |
| 6.1 总结 | 第66页 |
| 6.2 不足 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第71-72页 |