| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| ABSTRACT | 第9页 |
| 第一章 绪论 | 第15-25页 |
| 1.1 前言 | 第15-16页 |
| 1.2 标准漏孔分类及特点 | 第16-18页 |
| 1.2.1 玻璃毛细管型标准漏孔 | 第16页 |
| 1.2.2 金属压扁型标准漏孔 | 第16页 |
| 1.2.3 玻璃-铂丝型标准漏孔 | 第16-17页 |
| 1.2.4 薄膜渗氦型标准漏孔 | 第17页 |
| 1.2.5 常用标准漏孔优缺点比较 | 第17-18页 |
| 1.3 微纳流控通道的制备现状 | 第18-19页 |
| 1.4 标准漏孔制备现状 | 第19-22页 |
| 1.4.1 日本计量研究所(NMIJ) | 第19-20页 |
| 1.4.2 意大利纳米物理学院、德国物理研究院 | 第20-21页 |
| 1.4.3 欧盟计量研究计划(EMRP IND12 ECropean Metrology ResearchProgramme) | 第21-22页 |
| 1.5 本文研究内容 | 第22-25页 |
| 1.5.1 研究目的及研究内容 | 第22-23页 |
| 1.5.2 拟解决的问题及解决方案 | 第23-25页 |
| 第二章 超高真空标准漏孔流导的理论计算 | 第25-37页 |
| 2.1 真空检漏概述 | 第25-30页 |
| 2.1.1 真空的划分 | 第25页 |
| 2.1.2 真空检漏的基本概念 | 第25-26页 |
| 2.1.3 漏气的判断方法 | 第26-27页 |
| 2.1.4 气体流动状态及判别 | 第27-30页 |
| 2.2 气体的流量和管道流导计算 | 第30-32页 |
| 2.2.1 气体的流量定义 | 第30页 |
| 2.2.2 气体的流量计算 | 第30-32页 |
| 2.2.3 气体通过漏孔的时间 | 第32页 |
| 2.3 分子流状态下管道流导计算 | 第32-33页 |
| 2.3.1 圆截面长管 | 第32页 |
| 2.3.2 矩形管道 | 第32-33页 |
| 2.3.3 管路元件串联、并联的流导计算 | 第33页 |
| 2.4 标准漏孔的校准方法 | 第33-36页 |
| 2.4.1 定容法 | 第33-35页 |
| 2.4.2 定压法 | 第35-36页 |
| 2.4.3 定压法和定容法小结 | 第36页 |
| 2.5 本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 超高真空通道型漏孔的制备 | 第37-52页 |
| 3.1 实验方案 | 第37-38页 |
| 3.2 实验材料及设备 | 第38-41页 |
| 3.2.1 实验材料 | 第38-39页 |
| 3.2.2 实验设备 | 第39-41页 |
| 3.3 实验步骤 | 第41-45页 |
| 3.3.1 紫外光刻技术制备光刻胶模板 | 第41-42页 |
| 3.3.2 浇注技术制备PDMS软印章 | 第42-43页 |
| 3.3.3 PDMS软印章压印 | 第43-44页 |
| 3.3.4 热纳米压印技术制备微米级通道 | 第44页 |
| 3.3.5 封装 | 第44-45页 |
| 3.4 实验参数讨论 | 第45-48页 |
| 3.4.1 微米级通道制备尺寸理论计算 | 第45-47页 |
| 3.4.2 PDMS软印章制备参数 | 第47页 |
| 3.4.3 低压压印粘附能分析 | 第47-48页 |
| 3.5 基于双通AAO型标准漏孔的制备 | 第48-51页 |
| 3.5.1 实验材料及原理 | 第48-49页 |
| 3.5.2 AAO型漏孔制备尺寸理论计算 | 第49-51页 |
| 3.6 本章小结 | 第51-52页 |
| 第四章 气体累积法校准标准漏孔 | 第52-62页 |
| 4.1 气体累积检漏法 | 第52-54页 |
| 4.1.1 气体累积检漏的原理 | 第52-53页 |
| 4.1.2 漏率的计算 | 第53-54页 |
| 4.2 测试系统主要设备和组件 | 第54-59页 |
| 4.2.1 采集系统 | 第54页 |
| 4.2.2 硬件部分 | 第54-57页 |
| 4.2.3 操作界面 | 第57-58页 |
| 4.2.4 真空抽气系统 | 第58-59页 |
| 4.3 气体累积法校准 | 第59-61页 |
| 4.3.1 校准原理 | 第59-60页 |
| 4.3.2 测试步骤 | 第60-61页 |
| 4.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 实验结果及分析 | 第62-72页 |
| 5.1 微米级漏孔实验结果及分析 | 第62-66页 |
| 5.1.1 微米级通道漏孔测试结果 | 第62-64页 |
| 5.1.2 微米级通道结果分析 | 第64-66页 |
| 5.2 AAO型漏孔实验结果及分析 | 第66-70页 |
| 5.2.1 AAO型漏孔测试结果 | 第66-67页 |
| 5.2.2 AAO型漏孔结果分析 | 第67-70页 |
| 5.3 不确定度评定 | 第70-71页 |
| 5.4 本章小结 | 第71-72页 |
| 第六章 总结与展望 | 第72-74页 |
| 6.1 全文总结 | 第72-73页 |
| 6.2 实验的不足及展望 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-77页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第77页 |