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制造工艺及设备
稀土氟化物微纳米晶的制备及性能研究
SiO2和Si3N4薄膜的PECVD沉积及在半导体光电子器件中的应用研究
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微光学器件的气动膜片式微滴喷射制造技术研究
DJP-9BC超精密双面抛光机结构设计和实验研究
高精度贴片机中相关技术的研究与实现
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