| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪言 | 第8-14页 |
| ·课题概述 | 第8-9页 |
| ·文献综述 | 第9-12页 |
| ·本文主要的研究工作 | 第12-13页 |
| ·本文的组织结构 | 第13-14页 |
| 2 纳米压印工艺及其机理研究 | 第14-27页 |
| ·热压印工艺的研究 | 第15-21页 |
| ·热压印的机理和基本方程 | 第21-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 3 高定位对准分辨率的分步式压印光刻机的研制 | 第27-47页 |
| ·纳米压印机的总体设计方案及系统性能指标 | 第27-29页 |
| ·纳米压印机机械部分的设计 | 第29-43页 |
| ·纳米压印机控制软件的编制 | 第43-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 4 微光学结构的制作与高保真度压印研究 | 第47-64页 |
| ·微透镜阵列的制作 | 第47-54页 |
| ·纳米光栅和凸点阵列的制作 | 第54-58页 |
| ·工艺参数对热压印图形转移保真度影响的实验研究 | 第58-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 5 总结与展望 | 第64-66页 |
| ·全文总结 | 第64页 |
| ·下一步的工作 | 第64-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 附录 1 攻读学位期间发表的论文目录 | 第71页 |