微光学器件的气动膜片式微滴喷射制造技术研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 图目录 | 第11-17页 |
| 表目录 | 第17-18页 |
| 1 绪论 | 第18-32页 |
| ·背景及研究意义 | 第18-19页 |
| ·微光学器件及其制造工艺 | 第19-23页 |
| ·微滴喷射技术发展及应用 | 第23-28页 |
| ·研究目标 | 第28-29页 |
| ·研究内容与创新点 | 第29-32页 |
| 2 气动膜片式微滴喷射过程建模及系统构建 | 第32-66页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·气动膜片式微滴喷射机理研究 | 第32-46页 |
| ·气动膜片式微滴喷射系统 | 第46-65页 |
| ·小结 | 第65-66页 |
| 3 气动膜片式微滴喷射形成机理研究及实验分析 | 第66-94页 |
| ·引言 | 第66页 |
| ·可喷射流体性质 | 第66-69页 |
| ·微滴喷射形成过程机理分析 | 第69-70页 |
| ·微滴喷射形成过程数值分析 | 第70-83页 |
| ·微滴喷射形成实验研究 | 第83-93页 |
| ·小结 | 第93-94页 |
| 4 气动膜片式微滴沉积成型机理研究及实验分析 | 第94-115页 |
| ·引言 | 第94页 |
| ·微滴沉积成型过程机理研究 | 第94-104页 |
| ·微滴沉积成型实验研究 | 第104-114页 |
| ·小结 | 第114-115页 |
| 5 气动膜片式微喷射制作技术应用研究 | 第115-125页 |
| ·引言 | 第115页 |
| ·微透镜阵列喷射式制作实验研究 | 第115-124页 |
| ·小结 | 第124-125页 |
| 6 全文总结与展望 | 第125-128页 |
| ·研究成果 | 第125-127页 |
| ·研究展望 | 第127-128页 |
| 致谢 | 第128-129页 |
| 参考文献 | 第129-137页 |
| 附录Ⅰ 基于微压印的微光学器件制作实验研究 | 第137-148页 |
| Ⅰ.1 引言 | 第137页 |
| Ⅰ.2 微压印技术原理与设备 | 第137-140页 |
| Ⅰ.3 微光学器件的微压印制作实验 | 第140-147页 |
| Ⅰ.4 小结 | 第147-148页 |
| 附录Ⅱ 攻读博士学位期间研究成果 | 第148页 |
