| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 目次 | 第10-14页 |
| 第1章 绪论 | 第14-37页 |
| ·论文选题意义 | 第14-15页 |
| ·短距离光互连技术 | 第15-21页 |
| ·电互连与光互连的对比 | 第15-16页 |
| ·光电转换器件的发展 | 第16-18页 |
| ·光互连的分类 | 第18-20页 |
| ·光互连的应用现状 | 第20-21页 |
| ·软光刻技术 | 第21-35页 |
| ·传统光刻技术 | 第22-23页 |
| ·其他先进光刻技术 | 第23-24页 |
| ·软光刻技术简介 | 第24-25页 |
| ·软光刻关键部件之一:弹性模 | 第25-26页 |
| ·软光刻关键部件之二:母版 | 第26-29页 |
| ·软光刻工艺之一:自组织单层和微印刷技术 | 第29-30页 |
| ·软光刻工艺之二:再铸模REM | 第30-31页 |
| ·软光刻工艺之三:毛细管成模MIMIC | 第31-32页 |
| ·软光刻工艺之四:微传递成模μTM | 第32页 |
| ·多层软光刻套印 | 第32-35页 |
| ·本论文的研究内容及创新点 | 第35-36页 |
| ·本论文的研究内容与结构 | 第35页 |
| ·本文的主要创新点 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第2章 光波导理论及其数值计算 | 第37-52页 |
| ·引言 | 第37页 |
| ·光波导基本理论 | 第37-42页 |
| ·波动方程和平面波 | 第37-38页 |
| ·平板波导 | 第38-40页 |
| ·等效折射率法(Effective Index Method) | 第40-42页 |
| ·耦合模理论 | 第42-44页 |
| ·光束传输法(Beam Propagation Method,BPM) | 第44-48页 |
| ·BPM的理论基础 | 第45-46页 |
| ·BPM的实际应用 | 第46-48页 |
| ·蒙特卡罗式光线追迹法(Monte Carlo Ray Tracing Method) | 第48-51页 |
| ·光线追迹法的理论基础 | 第48-49页 |
| ·Monte Carlo数值计算 | 第49页 |
| ·仿真软件ZEMAX(?)简介 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第3章 单层光互连线路研究 | 第52-81页 |
| ·引言 | 第52-53页 |
| ·总体结构 | 第53-56页 |
| ·已有耦合结构方案及其优缺点 | 第54-55页 |
| ·新型耦合结构方案的设计 | 第55页 |
| ·关于传输波导的设计 | 第55-56页 |
| ·光互连端口耦合结构设计与制作 | 第56-64页 |
| ·参数分析 | 第56-57页 |
| ·耦合效率分析 | 第57-59页 |
| ·位置偏差冗余度分析 | 第59-61页 |
| ·实物制作与性能测试 | 第61-63页 |
| ·基于时延分析的传输速率研究 | 第63-64页 |
| ·单层光互连线路的基本布线准则 | 第64-74页 |
| ·交叉节点 | 第65-72页 |
| ·分叉节点 | 第72-74页 |
| ·光模式分布研究 | 第74-80页 |
| ·分叉臂中的光模式分布 | 第74-76页 |
| ·光能量分布均匀化 | 第76-78页 |
| ·光线方向均匀化 | 第78-80页 |
| ·本章小结 | 第80-81页 |
| 第4章 多层光互连线路研究 | 第81-105页 |
| ·引言 | 第81-82页 |
| ·总体结构设计 | 第82-87页 |
| ·目前已有的层间耦合解决方案 | 第82-85页 |
| ·新型多层光互连设计方案 | 第85-87页 |
| ·S形弯曲波导的设计 | 第87-93页 |
| ·参数分析 | 第87-88页 |
| ·模式分布对传输损耗的影响 | 第88-90页 |
| ·连接相邻层的S形弯曲波导结构设计 | 第90-92页 |
| ·连接多层的S形弯曲波导结构设计 | 第92-93页 |
| ·基于软光刻的多层光互连制作 | 第93-104页 |
| ·平面光互连的软光刻制作 | 第94-97页 |
| ·S形弯曲坡面结构的制作 | 第97-99页 |
| ·S形弯曲波导的制作 | 第99-102页 |
| ·性能测试 | 第102-104页 |
| ·本章小结 | 第104-105页 |
| 第5章 光互连用光功率分配器 | 第105-122页 |
| ·引言 | 第105页 |
| ·结构设计与参数优化 | 第105-114页 |
| ·总体结构设计 | 第105-108页 |
| ·全局变量设定 | 第108页 |
| ·直波导模块设计 | 第108-109页 |
| ·Y分叉模块设计 | 第109-110页 |
| ·连接波导模块设计 | 第110-114页 |
| ·新型Y分叉光功率分配器的最终尺寸配置 | 第114-116页 |
| ·基于软光刻技术的实物制作与性能测试 | 第116-121页 |
| ·光波导制作材料与技术分类 | 第116-117页 |
| ·光功率分配器的软光刻制作 | 第117-119页 |
| ·性能测试 | 第119-121页 |
| ·本章小结 | 第121-122页 |
| 第6章 总结与展望 | 第122-124页 |
| ·工作总结 | 第122页 |
| ·分析与展望 | 第122-124页 |
| 参考文献 | 第124-133页 |
| 作者简历 | 第133-134页 |
