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PLD方法生长ZnO/ZnMgO量子阱及结构、光学性能研究

致谢第1-6页
摘要第6-8页
Abstract第8-12页
第一章 前言第12-15页
第二章 文献综述第15-48页
   ·半导体超晶格与量子阱结构的基本性质第15-26页
     ·量子阱中载流子的二维限制效应第16-17页
     ·量子约束斯达克效应第17-20页
     ·量子阱之间的耦合作用第20-22页
     ·量子阱中的激子第22-26页
       ·激子的束缚能(结合能)第22-23页
       ·激子的局域化效应第23-26页
   ·ZnO材料的"能带工程"第26-33页
     ·Zn_(1-x)Mg_xO合金第28-30页
     ·Zn_(1-x)Be_xO合金第30-31页
     ·Zn_(1-y)Cd_yO合金第31-33页
   ·ZnO基量子阱或超晶格的制备方法第33-35页
     ·分子束外延第33-34页
     ·脉冲激光沉积第34页
     ·金属有机物化学气相沉积第34-35页
   ·ZnO量子阱的应用第35-48页
     ·半导体激光器第35-39页
     ·半导体发光二极管第39-48页
第三章 PLD实验原理及性能表征第48-55页
   ·脉冲激光沉积技术原理第48-50页
     ·激光与靶材相互作用产生等离子体第48-49页
     ·等离子体的空间传输第49-50页
     ·薄膜在衬底上沉积第50页
   ·实验过程第50-53页
     ·实验设备第50-52页
     ·靶材制备第52页
     ·衬底及清洗第52页
     ·ZnO/ZnMgO量子阱的制备过程第52-53页
   ·性能表征第53-55页
第四章 ZnO与ZnMgO薄膜生长及其n型掺杂的性能研究第55-75页
   ·影响ZnO薄膜生长的因素第55-65页
     ·生长温度第55-59页
     ·生长气氛第59-62页
     ·薄膜厚度第62-63页
     ·退火处理第63-64页
     ·缓冲层作用第64-65页
     ·ZnO薄膜的光学性质第65页
   ·Zn_(1-x)Mg_xO合金薄膜与带隙调节第65-68页
   ·Al掺杂透明导电Zn_(1-x)Mg_xO薄膜第68-74页
     ·结构性能第69-70页
     ·薄膜的组分与厚度第70-71页
     ·电学性能第71-72页
     ·光学性能第72-74页
   ·本章小结第74-75页
第五章 ZnO/Zn_(1-x)Mg_xO量子阱结构生长及发光机理研究第75-102页
   ·ZnO/ZnMgO多量子阱结构的制备第76-78页
   ·量子约束效应第78-80页
   ·激子束缚能的增加第80-83页
   ·量子阱的宽度对PL谱的影响第83-86页
   ·多量子阱中势垒层的宽度对PL谱的影响第86-89页
   ·缓冲层的厚度对量子阱PL谱的影响第89-90页
   ·势垒高度对量子阱PL谱的影响第90-91页
   ·激子"局域化"效应第91-101页
     ·单量子阱的局域化现象第92-96页
     ·多量子阱的局域化现象第96-101页
   ·本章小结第101-102页
第六章 总结第102-104页
参考文献第104-113页
作者简历第113页
期刊论文第113-114页
专利成果第114页

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