| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第15-29页 |
| 1.1 课题的研究背景及意义 | 第15-19页 |
| 1.1.1 光刻机和投影光刻物镜 | 第15-18页 |
| 1.1.2 光刻物镜系统波像差检测的意义 | 第18-19页 |
| 1.2 课题的国内外研究现状 | 第19-26页 |
| 1.2.1 哈特曼法和剪切干涉法 | 第19-23页 |
| 1.2.2 点衍射法 | 第23-24页 |
| 1.2.3 光栅横向剪切干涉法 | 第24-26页 |
| 1.3 论文主要研究内容和结构安排 | 第26-29页 |
| 1.3.1 论文主要研究内容 | 第26-27页 |
| 1.3.2 论文结构安排 | 第27-29页 |
| 第2章 光刻物镜系统波像差检测方法 | 第29-73页 |
| 2.1 引言 | 第29页 |
| 2.2 光栅横向剪切干涉仪 | 第29-39页 |
| 2.2.1 光栅横向剪切干涉仪的基本结构和工作原理 | 第29-31页 |
| 2.2.2 相移干涉测量 | 第31-36页 |
| 2.2.3 波前重建算法 | 第36-39页 |
| 2.3 系统波像差检测结果分析 | 第39-41页 |
| 2.3.1 重复性精度 | 第39-40页 |
| 2.3.2 干涉仪的系统误差 | 第40-41页 |
| 2.4 绝对检测技术 | 第41-51页 |
| 2.4.1 平面绝对检测 | 第41-42页 |
| 2.4.2 球面绝对检测 | 第42-45页 |
| 2.4.3 旋转绝对检测技术 | 第45-47页 |
| 2.4.4 旋转法的扩展方法 | 第47-51页 |
| 2.5 三步平均算法和加权三步平均算法 | 第51-55页 |
| 2.5.1 三步平均法基本原理 | 第51-54页 |
| 2.5.2 加权三步平均法基本原理 | 第54-55页 |
| 2.6 仿真分析 | 第55-67页 |
| 2.7 实验验证 | 第67-71页 |
| 2.8 本章小结 | 第71-73页 |
| 第3章 抑制偏心误差影响的两步算法 | 第73-99页 |
| 3.1 引言 | 第73页 |
| 3.2 干涉测量法中的偏心误差 | 第73-76页 |
| 3.3 抑制偏心误差影响的两步算法基本原理 | 第76-80页 |
| 3.4 仿真分析 | 第80-89页 |
| 3.5 实验验证 | 第89-93页 |
| 3.6 测量不确定度评估 | 第93-96页 |
| 3.7 本章小结 | 第96-99页 |
| 第4章 基于旋转测量偏心量的拟合算法 | 第99-119页 |
| 4.1 引言 | 第99页 |
| 4.2 基于旋转测量偏心量的拟合算法基本原理 | 第99-101页 |
| 4.3 仿真分析 | 第101-111页 |
| 4.4 实验验证 | 第111-116页 |
| 4.5 测量不确定度评估 | 第116-118页 |
| 4.6 本章小结 | 第118-119页 |
| 第5章 总结与展望 | 第119-123页 |
| 5.1 全文总结 | 第119-121页 |
| 5.2 论文创新点 | 第121页 |
| 5.3 工作展望 | 第121-123页 |
| 参考文献 | 第123-131页 |
| 致谢 | 第131-133页 |
| 作者简历及攻读学位期间发表的学术论文与研究成果 | 第133页 |