| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 微电子封装概述 | 第10-14页 |
| 1.1.1 微电子封装的相关概念 | 第10-12页 |
| 1.1.2 微电子封装的发展 | 第12-14页 |
| 1.2 超声引线键合装置 | 第14-18页 |
| 1.2.1 超声引线键合机 | 第15-16页 |
| 1.2.2 超声引线键合声学系统 | 第16-18页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第18-20页 |
| 2 超声引线键合声学系统设计 | 第20-35页 |
| 2.1 引线键合声学系统的变幅杆设计 | 第20-24页 |
| 2.1.1 变幅杆的设计方法 | 第20-23页 |
| 2.1.2 换能器的设计方法 | 第23-24页 |
| 2.2 超声引线键合声学系统设计 | 第24-33页 |
| 2.2.1 变截面杆的四端网络 | 第25-29页 |
| 2.2.2 有限元模态分析理论基础 | 第29-30页 |
| 2.2.3 设计实例 | 第30-33页 |
| 2.3 本章小结 | 第33-35页 |
| 3 超声引线键合声学系统制造 | 第35-46页 |
| 3.1 超声引线键合声学系统工艺分析 | 第35-37页 |
| 3.2 超声引线键合声学系统的变幅杆工艺分析 | 第37-39页 |
| 3.3 小孔加工工艺方法与变幅杆斜小孔加工方法的确定 | 第39-44页 |
| 3.3.1 小孔加工工艺方法 | 第39-43页 |
| 3.3.2 变幅杆斜小孔加工方法确定 | 第43-44页 |
| 3.4 超声引线键合声学系统加工成品 | 第44-45页 |
| 3.5 本章小结 | 第45-46页 |
| 4 超声引线键合声学系统的测试与研究 | 第46-62页 |
| 4.1 声学系统振动参数测量 | 第46-50页 |
| 4.1.1 振动参数测量仪器及原理 | 第46-49页 |
| 4.1.2 声学系统振动参数测量结果 | 第49-50页 |
| 4.2 劈刀刀尖振动位移、速度及加速度测量 | 第50-55页 |
| 4.2.1 振动参数的测量仪器及原理 | 第50-51页 |
| 4.2.2 振动位移、速度及加速度的测量 | 第51-55页 |
| 4.3 超声引线键合实验研究 | 第55-56页 |
| 4.3.1 铂金丝超声引线键合的正交试验 | 第55页 |
| 4.3.2 铂金丝超声引线键合的正交试验结果 | 第55-56页 |
| 4.4 劈刀悬伸长度对声学系统影响研究 | 第56-60页 |
| 4.4.1 改变劈刀悬伸长度的有限元分析 | 第56-57页 |
| 4.4.2 有限元结果分析 | 第57-60页 |
| 4.5 本章小结 | 第60-62页 |
| 5 总结与展望 | 第62-64页 |
| 5.1 结论 | 第62页 |
| 5.2 创新点 | 第62-63页 |
| 5.3 对今后工作的展望 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 附录 | 第69页 |