| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 光刻机工件台的国内外研究现状 | 第10-14页 |
| 1.2.1 光刻机工件台的国外研究现状 | 第10-12页 |
| 1.2.2 光刻机工件台的国内研究现状 | 第12-14页 |
| 1.3 有限元分析方法的基本思想 | 第14页 |
| 1.4 本文的主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第2章 热源分析及计算 | 第16-28页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 微动台实体模型的建立 | 第16-18页 |
| 2.3 热源的分析及计算 | 第18-26页 |
| 2.3.1 热源的分析 | 第18-19页 |
| 2.3.2 热传递的三种基本方式 | 第19-21页 |
| 2.3.3 XY平面电机热载荷计算 | 第21-24页 |
| 2.3.4 Z向重力补偿器热载荷计算 | 第24-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-28页 |
| 第3章 微动台CHUCK部件温度场分析 | 第28-46页 |
| 3.1 引言 | 第28页 |
| 3.2 有限元模型的建立 | 第28-30页 |
| 3.2.1 微动台技术指标 | 第28-29页 |
| 3.2.2 微动台Chuck部件有限元模型的建立 | 第29-30页 |
| 3.3 微动台CHUCK部件热分析 | 第30-37页 |
| 3.3.1 Z向重力补偿器热载荷作用下热分析 | 第31-32页 |
| 3.3.2 XY平面电机铰链热载荷作用下热分析 | 第32-33页 |
| 3.3.3 XY平面电机挡热板热载荷作用下热分析 | 第33-34页 |
| 3.3.4 RA传感器热载荷作用下热分析 | 第34-36页 |
| 3.3.5 晶圆热载荷作用下热分析 | 第36-37页 |
| 3.4 微动台CHUCK部件热－结构耦合分析 | 第37-41页 |
| 3.4.1 Z向重力补偿器热载荷作用下稳态热－结构耦合分析 | 第37-38页 |
| 3.4.2 Z向重力补偿器热载荷作用下瞬态热－结构耦合分析 | 第38-41页 |
| 3.5 微动台CHUCK部件在重力和温度场综合作用下的变形 | 第41-44页 |
| 3.5.1 重力作用下的变形 | 第41-43页 |
| 3.5.2 重力和温度场综合作用下的变形 | 第43-44页 |
| 3.6 本章小结 | 第44-46页 |
| 第4章 晶圆升降装置温度场分析及结构分析 | 第46-55页 |
| 4.1 引言 | 第46页 |
| 4.2 晶圆升降装置温度场分析 | 第46-49页 |
| 4.2.1 有限元模型的建立 | 第46-47页 |
| 4.2.2 材料参数的设定 | 第47页 |
| 4.2.3 热分析计算结果及分析 | 第47-49页 |
| 4.2.4 热－结构耦合分析计算结果及分析 | 第49页 |
| 4.3 晶圆升降装置静力学分析 | 第49-51页 |
| 4.3.1 材料参数的设定 | 第49页 |
| 4.3.2 有限元模型的建立 | 第49-50页 |
| 4.3.3 载荷及边界条件 | 第50页 |
| 4.3.4 静力分析计算结果及分析 | 第50-51页 |
| 4.4 晶圆升降装置模态分析 | 第51-54页 |
| 4.4.1 模态分析理论基础 | 第51-52页 |
| 4.4.2 模态分析参数及边界条件 | 第52-53页 |
| 4.4.3 模态分析计算结果及分析 | 第53-54页 |
| 4.5 本章小结 | 第54-55页 |
| 第5章 XY平面电机定子温度场实验 | 第55-61页 |
| 5.1 温度传感器的类型 | 第55页 |
| 5.2 温度传感器的选择 | 第55-56页 |
| 5.3 温度传感器的标定 | 第56-57页 |
| 5.4 XY平面电机定子温度场分析 | 第57-58页 |
| 5.5 实验设备 | 第58页 |
| 5.6 实验数据处理 | 第58-60页 |
| 5.7 本章小结 | 第60-61页 |
| 结论 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 致谢 | 第66页 |
