约束刻蚀加工试验台的研制

摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
1 绪论	第9-19页
·课题背景	第9-15页
·约束刻蚀剂层技术原理与应用	第15-16页
·基于约束刻蚀层技术的化学平坦化	第16-17页
·基于约束刻蚀剂层技术的平坦化关键技术	第17-18页
·课题来源与本文研究内容	第18-19页
2 约束刻蚀试验台设计与研制	第19-27页
·机械结构设计	第19-22页
·控制系统设计	第22-26页
·本章小结	第26-27页
3 宏/微复合进给机构设计与研制	第27-40页
·结构设计	第27-29页
·微进给机构理论计算	第29-33页
·静态刚度计算	第29-32页
·强度校核计算	第32页
·固有频率计算	第32-33页
·微进给机构有限元分析	第33-35页
·预紧力对微进给机构的影响	第35-37页
·预紧力对刚度的影响	第35-36页
·预紧力对频率响应的影响	第36页
·预紧力对系统分辨率的影响	第36-37页
·微进给机构实验研究	第37-39页
·压电陶瓷迟滞曲线测试	第37-38页
·微进给实验	第38-39页
·本章小结	第39-40页
4 约束刻蚀试验研究	第40-54页
·电极-工件间隙控制方法研究	第40-48页
·基于微进给机构的电极-工件间隙控制方法	第40-41页
·基于挤压膜理论的电极-工件间隙控制方法	第41-44页
·基于液体静压理论的电极-工件间隙控制方法	第44-48页
·约束刻蚀体系的选择	第48-49页
·电极的研制与安装	第49-51页
·约束刻蚀试验	第51-53页
·本章小结	第53-54页
结论	第54-55页
参考文献	第55-58页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况	第58-59页
致谢	第59-60页