金薄膜加热互连线的失效机理与试验分析研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 引言 | 第8-13页 |
| 1.1 课题来源 | 第8页 |
| 1.2 研究背景及意义 | 第8-10页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第10-11页 |
| 1.4 本文研究内容 | 第11-13页 |
| 第2章 金薄膜加热互连线的故障模型 | 第13-26页 |
| 2.1 金薄膜加热互连线的失效模式 | 第13-15页 |
| 2.2 金薄膜加热互连线的失效机理 | 第15-17页 |
| 2.3 互连线的失效理论模型 | 第17-24页 |
| 2.3.1 电迁移失效机理 | 第17-20页 |
| 2.3.2 电迁移理论模型 | 第20-24页 |
| 2.4 互连线的失效分析方法 | 第24-26页 |
| 第3章 多物理耦合场仿真分析 | 第26-39页 |
| 3.1 互连线的仿真模型 | 第26-29页 |
| 3.1.1 互连线分析研究方案 | 第26-27页 |
| 3.1.2 互连线有限元模型 | 第27-28页 |
| 3.1.3 互连线的网格划分 | 第28-29页 |
| 3.2 多物理耦合场仿真分析 | 第29-35页 |
| 3.2.1 热-电耦合仿真 | 第29-32页 |
| 3.2.2 热-结构耦合仿真 | 第32-35页 |
| 3.3 原子质量流分析 | 第35-39页 |
| 3.3.1 正交仿真试验中的因素和水平 | 第35-36页 |
| 3.3.2 互连线的仿真方案设计 | 第36-39页 |
| 第4章 金薄膜加热互连线的可靠性试验分析 | 第39-56页 |
| 4.1 互连线的制作工艺 | 第39-43页 |
| 4.1.1 互连线结构设计 | 第39-40页 |
| 4.1.2 互连线样品制作 | 第40-42页 |
| 4.1.3 互连线样品切割 | 第42-43页 |
| 4.2 样品的筛选与测量 | 第43-46页 |
| 4.2.1 表面形貌观测 | 第44-45页 |
| 4.2.2 结构参数测量 | 第45-46页 |
| 4.2.3 初始电阻测量 | 第46页 |
| 4.3 互连线的试验系统设计 | 第46-47页 |
| 4.3.1 试验系统 | 第46页 |
| 4.3.2 失效准则 | 第46-47页 |
| 4.3.3 试验应力 | 第47页 |
| 4.3.4 参数测量 | 第47页 |
| 4.4 互连线实验方案 | 第47-56页 |
| 4.4.1 摸底试验 | 第47-52页 |
| 4.4.2 正交试验 | 第52-56页 |
| 第5章 总结与展望 | 第56-58页 |
| 5.1 全文总结 | 第56-57页 |
| 5.2 展望 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 致谢 | 第61页 |
