铜互连电迁移寿命模型研究

摘要	第1-4页
Abstract	第4-7页
第一章 绪论	第7-13页
·本文研究背景及意义	第7-11页
·本文工作安排	第11-13页
第二章 铜互连及电迁移与应力迁移失效机理	第13-27页
·铜互连技术及其发展	第13-16页
·铜互连电迁移失效	第16-23页
·铜互连电迁移失效基本物理	第16-21页
·铜互连电迁移失效模型	第21-23页
·铜互连应力迁移失效	第23-27页
·铜互连应力迁移失效基本概念	第23-24页
·铜互连应力迁移失效经典模型	第24-27页
第三章 铜互连电迁移失效微观结构模型研究	第27-41页
·铜互连线微观结构效应分析	第27-33页
·晶向分布影响因素	第28-29页
·晶粒尺寸分布影响因素	第29-33页
·铜互连电迁移失效微观结构模型	第33-39页
·铜互连电迁移失效模型	第33-35页
·铜互连线宽度影响因素分析	第35-38页
·铜互连线长度影响因素分析	第38-39页
·本章小结	第39-41页
第四章 铜互连电迁移失效交流模型	第41-55页
·铜互连电迁移失效交流模型	第42-46页
·脉冲DC电流电迁移失效模型	第42-43页
·脉冲AC电流电迁移失效模型	第43-46页
·铜互连电迁移交流寿命模拟与分析	第46-54页
·脉冲DC电流应力影响因素分析	第46-48页
·脉冲AC电流应力影响因素分析	第48-49页
·空位寿命对AC下互连寿命的影响	第49-50页
·温度对AC下互连寿命的影响	第50-52页
·电流密度对AC下互连寿命的影响	第52-54页
·本章小结	第54-55页
第五章 总结与展望	第55-57页
·总结	第55-56页
·展望	第56-57页
致谢	第57-59页
参考文献	第59-64页