RTP系统的机电一体化设计
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 1. 绪论 | 第7-16页 |
| ·RTP系统简介 | 第7-8页 |
| ·RTP系统与半导体加工工艺 | 第8-10页 |
| ·RTP设备同传统快速退火炉的区别 | 第10-11页 |
| ·RTP设备的发展历程 | 第11页 |
| ·RTP设备在国内外的研究现状 | 第11-12页 |
| ·课题研究意义 | 第12页 |
| ·设计任务 | 第12-14页 |
| ·技术指标 | 第12-13页 |
| ·组成概述 | 第13-14页 |
| ·论文内容与安排 | 第14-16页 |
| 2. 加热系统的设计 | 第16-26页 |
| ·加热方式选择 | 第16-17页 |
| ·加热灯类型确定 | 第17-18页 |
| ·热源计算 | 第18-20页 |
| ·加热灯的排布设计 | 第20-24页 |
| ·灯罩设计 | 第24-25页 |
| ·小结 | 第25-26页 |
| 3. 电磁驱动旋转系统设计 | 第26-44页 |
| ·系统简介 | 第26-27页 |
| ·启动力矩计算 | 第27-28页 |
| ·励磁磁动势计算 | 第28-30页 |
| ·ANSYS仿真 | 第30-34页 |
| ·气隙的影响 | 第31-33页 |
| ·伸入量的影响 | 第33-34页 |
| ·线圈参数确定 | 第34-39页 |
| ·线圈并联 | 第35-38页 |
| ·线圈串联 | 第38-39页 |
| ·影响温升因素 | 第39-43页 |
| ·匝数对温升的影响 | 第39-42页 |
| ·电压对温升的影响 | 第42页 |
| ·电流密度对温升的影响 | 第42-43页 |
| ·小结 | 第43-44页 |
| 4. 冷却系统以及气氛供给系统设计 | 第44-50页 |
| ·气冷方式 | 第44-47页 |
| ·水冷方式 | 第47-48页 |
| ·气氛供给系统设计 | 第48-49页 |
| ·小结 | 第49-50页 |
| 5. 阻旋式料位计的设计 | 第50-63页 |
| ·应用背景 | 第50页 |
| ·研制意义 | 第50-51页 |
| ·电解槽送料系统结构 | 第51-52页 |
| ·技术要求 | 第52-53页 |
| ·工作原理 | 第53页 |
| ·机械系统设计 | 第53-56页 |
| ·样机实验 | 第56-60页 |
| ·阻尼杆的形状尺寸实验研究 | 第60-62页 |
| ·小结 | 第62-63页 |
| 结论 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 申请学位期间的研究成果及发表的学术论文 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
