具有侧面冗余的铜互连线的电迁移效应研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 课题的提出 | 第8-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-13页 |
| 1.2.1 电迁移数值分析方法研究现状 | 第10-12页 |
| 1.2.2 冗余金属效应研究现状 | 第12-13页 |
| 1.3 本文的主要工作 | 第13-15页 |
| 2 电迁移效应的理论基础 | 第15-28页 |
| 2.1 铝互连与铜互连 | 第15-18页 |
| 2.2 电迁移效应的驱动机制 | 第18-23页 |
| 2.2.1 电子风迁移 | 第19页 |
| 2.2.2 热迁移 | 第19-20页 |
| 2.2.3 应力迁移 | 第20-21页 |
| 2.2.4 电迁移驱动力方程 | 第21-23页 |
| 2.3 过孔结构的电迁移效应 | 第23-28页 |
| 2.3.1 电流方向影响 | 第23-25页 |
| 2.3.2 关键长度效应 | 第25-28页 |
| 3 电迁移数值分析方法设计 | 第28-44页 |
| 3.1 流程设计 | 第28-29页 |
| 3.2 有限元分析方法 | 第29-39页 |
| 3.2.1 模型建立与网格划分 | 第30-34页 |
| 3.2.2 耦合场分析 | 第34-35页 |
| 3.2.3 电热耦合分析 | 第35-37页 |
| 3.2.4 热结构耦合分析 | 第37-39页 |
| 3.3 数值求解方法 | 第39-44页 |
| 3.3.1 梯度与散度的求解方法 | 第40-41页 |
| 3.3.2 数据接口设计 | 第41-42页 |
| 3.3.3 原子通量散度求解 | 第42-44页 |
| 4 侧面冗余结构对电迁移影响的研究 | 第44-52页 |
| 4.1 冗余结构的有限元模型 | 第44-46页 |
| 4.2 侧面冗余结构对电迁移影响分析 | 第46-52页 |
| 结论 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-57页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
