用于探针台的高精度运动平台的研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 课题背景及意义 | 第9-11页 |
| 1.2 半导体测试行业国内外发展现状 | 第11-15页 |
| 1.2.1 国内外发展现状 | 第11-14页 |
| 1.2.2 探针台未来发展趋势 | 第14-15页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 探针台机械系统分析及设计方案 | 第16-23页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 探针台的工作原理及流程 | 第16-18页 |
| 2.3 探针台的总体设计方案 | 第18-21页 |
| 2.3.1 设计要求 | 第18-20页 |
| 2.3.2 总体结构设计方案 | 第20-21页 |
| 2.4 控制系统总体设计 | 第21-22页 |
| 2.5 本章小结 | 第22-23页 |
| 第3章 探针台主机机械结构设计 | 第23-38页 |
| 3.1 引言 | 第23页 |
| 3.2 主机机械系统整体设计 | 第23-24页 |
| 3.3 x-y 平台设计 | 第24-29页 |
| 3.3.1 x-y 工作台设计指标及结构特点 | 第25-26页 |
| 3.3.2 x-y 工作台结构设计 | 第26-29页 |
| 3.4 z 工作台结构设计 | 第29-34页 |
| 3.4.1 设计要求 | 第29-30页 |
| 3.4.2 z 轴组件设计 | 第30-33页 |
| 3.4.3 自动对针及温控系统设计 | 第33-34页 |
| 3.5 面板组件结构设计 | 第34-37页 |
| 3.5.1 面板的结构设计 | 第34-36页 |
| 3.5.2 自动换卡定位组件 | 第36-37页 |
| 3.6 本章小结 | 第37-38页 |
| 第4章 运动控制系统建模与仿真 | 第38-50页 |
| 4.0 引言 | 第38页 |
| 4.1 交流伺服系统的组成 | 第38-39页 |
| 4.2 伺服驱动系统的数学模型的分析 | 第39-42页 |
| 4.2.1 位置检测控制单元的分析 | 第40页 |
| 4.2.2 速度检测控制单元的分析 | 第40-41页 |
| 4.2.3 交流伺服电机 | 第41-42页 |
| 4.3 机械传动系统动力学模型 | 第42-44页 |
| 4.5 交流伺服系统模型的建立 | 第44页 |
| 4.6 工作台与电机参数计算 | 第44-47页 |
| 4.7 交流伺服系统仿真建模 | 第47-49页 |
| 4.8 本章小结 | 第49-50页 |
| 第5章 样机搭建及整机调试 | 第50-58页 |
| 5.1 引言 | 第50页 |
| 5.2 样机平台的搭建 | 第50-51页 |
| 5.3 x、y 定位精度分析 | 第51-55页 |
| 5.3.1 x 轴定位精度分析 | 第52-53页 |
| 5.3.2 y 轴定位精度分析 | 第53-55页 |
| 5.4 整机性能综合实验 | 第55-57页 |
| 5.5 本章小结 | 第57-58页 |
| 结论 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 致谢 | 第63页 |
