| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第一章 集成电路晶圆针测基本概念 | 第5-13页 |
| 第一节 研究背景及意义 | 第5-7页 |
| 第二节 晶圆针测简介 | 第7-11页 |
| 第三节 晶圆针测主要设备介绍 | 第11-13页 |
| 第二章 逻辑电路测试与标准测试数据格式简介 | 第13-22页 |
| 第一节 逻辑电路测试基本种类 | 第13-19页 |
| 第二节 标准测试数据格式(STDF)简介 | 第19-22页 |
| 第三章 晶圆针测中主要异常状况的分析 | 第22-33页 |
| 第一节 直流参数测试的分析 | 第23-27页 |
| 第二节 功能测试分析 | 第27-30页 |
| 第三节 测试机硬件异常错误 | 第30-31页 |
| 第四节 晶圆针测的故障模式总结 | 第31-33页 |
| 第四章 STDF数据分析软件SAT的开发 | 第33-42页 |
| 第一节 软件功能结构 | 第34-35页 |
| 第二节 界面设计 | 第35-37页 |
| 第三节 主要模块程序设计 | 第37-42页 |
| 第五章 晶圆测试故障实例分析 | 第42-51页 |
| 第一节 实例一 | 第42-45页 |
| 第二节 实例二 | 第45-48页 |
| 第三节 实例三 | 第48-51页 |
| 第六章 结论 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |