| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-13页 |
| ·引言 | 第6-8页 |
| ·铜互连工艺的基本概念 | 第8-10页 |
| ·派工系统介绍 | 第10-12页 |
| ·本论文的内容安排 | 第12-13页 |
| 第二章 铜互连工艺中典型的与等待时间有关缺陷的研究 | 第13-30页 |
| ·引言 | 第13页 |
| ·氟化硅玻璃的结晶状缺陷 | 第13-18页 |
| ·低K材料氟化硅酸盐玻璃 | 第13-15页 |
| ·结晶缺陷 | 第15-18页 |
| ·电镀铜金属连线的腐蚀 | 第18-23页 |
| ·电镀铜互连的主要工艺 | 第18-21页 |
| ·铜金属连线的腐蚀 | 第21-23页 |
| ·等待时间与缺陷的关系 | 第23-28页 |
| ·等待时间与结晶缺陷 | 第23-27页 |
| ·等待时间与铜金属连线的腐蚀 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-30页 |
| 第三章 派工系统的开发研究 | 第30-47页 |
| ·引言 | 第30页 |
| ·派工方法介绍 | 第30-32页 |
| ·派工系统设计 | 第32-42页 |
| ·派工系统目标和框架 | 第32-34页 |
| ·系统功能实现 | 第34-35页 |
| ·派工规则系统定义与实现 | 第35-39页 |
| ·派工规则等级判断的优化方案 | 第39-42页 |
| ·派工执行查询和监控 | 第42-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 派工系统控制等待时间的研究 | 第47-53页 |
| ·引言 | 第47页 |
| ·关于等待时间的派工实现 | 第47-50页 |
| ·氟化硅玻璃的结晶状缺陷派工实现 | 第47-48页 |
| ·电镀铜金属连线的腐蚀派工实现 | 第48-50页 |
| ·效果认证 | 第50-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 总结和展望 | 第53-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-58页 |
| 附录 | 第58-64页 |
| 附录1 氟化硅玻璃的结晶状缺陷派工规则部分代码 | 第58-61页 |
| 附录2 电镀铜金属连线的腐蚀派工规则部分代码 | 第61-64页 |