用于芯片倒装角度补偿的柔性XYθ微动平台
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第15-25页 |
| 1.1 课题来源及背景 | 第15-16页 |
| 1.2 芯片封装平台国内外研究现状 | 第16-22页 |
| 1.2.1 芯片封装平台概述 | 第17-18页 |
| 1.2.2 国外研究现状 | 第18-21页 |
| 1.2.3 国内研究现状 | 第21-22页 |
| 1.3 论文研究内容 | 第22-25页 |
| 第二章 角度偏差补偿的微动平台设计 | 第25-35页 |
| 2.1 宏定位平台 | 第25-30页 |
| 2.1.1 宏定位平台误差分析 | 第27-30页 |
| 2.2 微动平台运动构型选择 | 第30页 |
| 2.3 柔性铰链及杠杆位移放大器 | 第30-33页 |
| 2.3.1 杠杆位移放大机构 | 第31-33页 |
| 2.4 本章小结 | 第33-35页 |
| 第三章 微动平台结构优化与静力学分析 | 第35-47页 |
| 3.1 微动平台形状优化与尺寸优化 | 第35-37页 |
| 3.2 微动平台的静力学建模 | 第37-45页 |
| 3.2.1 圆弧型柔性铰链柔度矩阵 | 第37-40页 |
| 3.2.2 柔性铰链的串联柔度关系 | 第40-41页 |
| 3.2.3 微动平台输出柔度 | 第41-42页 |
| 3.2.4 微动平台输入柔度 | 第42-44页 |
| 3.2.5 微动平台的放大位移比 | 第44-45页 |
| 3.3 本章小结 | 第45-47页 |
| 第四章 微动平台的仿真与运动学建模 | 第47-63页 |
| 4.1 微动平台的有限元分析 | 第47-50页 |
| 4.1.1 3-RRR微动定位的静力学分析 | 第48-49页 |
| 4.1.2 3-RRR微动定位的模态分析 | 第49-50页 |
| 4.2 伪刚体模型与雅可比矩阵 | 第50-56页 |
| 4.2.1 微动平台的伪刚体模型 | 第51-52页 |
| 4.2.2 微动平台的雅可比矩阵 | 第52-56页 |
| 4.3 异构的RELM神经网络 | 第56-61页 |
| 4.3.1 基于ELM智能算法的建模 | 第56-58页 |
| 4.3.2 基于ELM智能算法的仿真实验 | 第58-61页 |
| 4.4 本章小结 | 第61-63页 |
| 第五章 实验验证与分析 | 第63-75页 |
| 5.1 平台实验系统搭建 | 第63-64页 |
| 5.1.1 实验系统框架 | 第63-64页 |
| 5.2 平台原型系统 | 第64-66页 |
| 5.2.1 运动控制卡的选择 | 第65页 |
| 5.2.2 驱动器的选择 | 第65-66页 |
| 5.3 视觉检测系统 | 第66-67页 |
| 5.3.1 视觉硬件组成 | 第67页 |
| 5.4 运动控制实验 | 第67-74页 |
| 5.4.1 平台开环实验 | 第67-70页 |
| 5.4.2 平台闭环控制实验 | 第70-73页 |
| 5.4.3 平台定位性能实验 | 第73-74页 |
| 5.5 本章小结 | 第74-75页 |
| 结论与展望 | 第75-77页 |
| 结论 | 第75-76页 |
| 展望 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-83页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第83-85页 |
| 致谢 | 第85页 |
