晶圆级倒装装备运动平台的鲁棒控制与模糊细调
| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第12-19页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第12-14页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第14-17页 |
| 1.2.1 晶圆级倒装装备研究现状 | 第14-15页 |
| 1.2.2 精密运动平台控制策略研究现状 | 第15-16页 |
| 1.2.3 鲁棒控制算法研究现状及主要问题 | 第16页 |
| 1.2.4 模糊控制算法研究现状 | 第16-17页 |
| 1.3 论文课题来源及研究内容 | 第17-18页 |
| 1.4 本章小结 | 第18-19页 |
| 第二章 晶圆级倒装装备工作流程及控制系统 | 第19-28页 |
| 2.1 晶圆级倒装装备工作流程介绍 | 第19-21页 |
| 2.2 晶圆级倒装装备控制系统介绍 | 第21-23页 |
| 2.2.1 晶圆级倒装装备控制系统结构 | 第21-22页 |
| 2.2.2 运动控制卡 | 第22-23页 |
| 2.2.3 驱动系统 | 第23页 |
| 2.2.4 反馈装置 | 第23页 |
| 2.3 晶圆级倒装装备基于PID控制器控制 | 第23-27页 |
| 2.4 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 晶圆级倒装装备运动系统建模 | 第28-40页 |
| 3.1 直线电机机理建模 | 第28-32页 |
| 3.1.1 电机的电压平衡方程 | 第28-31页 |
| 3.1.2 运动平台动力学模型 | 第31-32页 |
| 3.2 模型参数获取与辨识 | 第32-38页 |
| 3.2.1 正弦扫频 | 第34-36页 |
| 3.2.2 系统辨识结果 | 第36-38页 |
| 3.3 本章小结 | 第38-40页 |
| 第四章 基于H_∞混合灵敏度方法的鲁棒控制器设计 | 第40-53页 |
| 4.1 鲁棒控制器基础 | 第40-43页 |
| 4.1.1 模型不确定性 | 第40-42页 |
| 4.1.2 H_∞混合灵敏度设计问题 | 第42-43页 |
| 4.2 鲁棒控制器设计 | 第43-48页 |
| 4.2.1 W_T(s)加权函数的选取 | 第45-46页 |
| 4.2.2 W_S(s)加权函数选取 | 第46-47页 |
| 4.2.3 W_R(s)的加权函数选取 | 第47-48页 |
| 4.3 求取鲁棒控制器 | 第48-50页 |
| 4.4 仿真分析 | 第50-52页 |
| 4.5 本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 基于鲁棒控制器模糊微调前馈控制器 | 第53-66页 |
| 5.1 前馈控制器 | 第53-57页 |
| 5.1.1 前馈控制器原理 | 第53-54页 |
| 5.1.2 前馈控制器设计 | 第54-56页 |
| 5.1.3 前馈控制器参数调整 | 第56-57页 |
| 5.2 模糊细调前馈控制器参数 | 第57-65页 |
| 5.2.1 模糊控制原理 | 第57-58页 |
| 5.2.2 模糊控制器的结构设计 | 第58-60页 |
| 5.2.3 输入和输出变量模糊化 | 第60-61页 |
| 5.2.4 模糊规则的设计 | 第61-63页 |
| 5.2.5 输出模糊量模糊判决 | 第63-65页 |
| 5.3 本章小结 | 第65-66页 |
| 总结与展望 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-73页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文 | 第73-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
