| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-14页 |
| ·课题研究背景及来源 | 第11-12页 |
| ·研究背景 | 第11-12页 |
| ·课题来源 | 第12页 |
| ·论文研究内容与结构 | 第12-14页 |
| ·研究内容 | 第12-13页 |
| ·论文结构 | 第13-14页 |
| 第二章 光刻机双工件台系统 | 第14-20页 |
| ·系统组成和工作原理 | 第14-15页 |
| ·掩模台组成及功能 | 第15-17页 |
| ·硅片台组成及功能 | 第17-19页 |
| ·小结 | 第19-20页 |
| 第三章 基于模糊 FMECA 的硅片台系统风险分析 | 第20-45页 |
| ·FMECA 方法 | 第20-24页 |
| ·定义及研究目的 | 第20-21页 |
| ·相关概念 | 第21页 |
| ·失效判定及评价标准 | 第21-24页 |
| ·失效判定 | 第21-23页 |
| ·严酷度划分 | 第23页 |
| ·风险优先数 | 第23-24页 |
| ·粗动台模糊 FMECA 综合评价 | 第24-34页 |
| ·确定因素集合 U | 第24-25页 |
| ·确定评语集合 V | 第25页 |
| ·确定模糊评判矩阵 | 第25-26页 |
| ·基于层次分析法的权重分配 | 第26-29页 |
| ·基本步骤 | 第26-28页 |
| ·粗动台非正常工作权重分配 | 第28-29页 |
| ·模糊综合评判 | 第29-32页 |
| ·一级模糊评判 | 第31-32页 |
| ·二级模糊评判 | 第32页 |
| ·二级评判结果去模糊化 | 第32-33页 |
| ·基于模糊综合评判的危害性分析模型 | 第33-34页 |
| ·硅片台系统其他组件模糊 FMECA 分析 | 第34-42页 |
| ·微动台 | 第34-36页 |
| ·隔震组件 | 第36-37页 |
| ·散热组件 | 第37-38页 |
| ·电气箱 | 第38-40页 |
| ·测量系统 | 第40-41页 |
| ·线缆台 | 第41-42页 |
| ·硅片台系统的整体风险分析 | 第42-43页 |
| ·硅片台整体评价矩阵 | 第42页 |
| ·硅片台各组件风险评价 | 第42-43页 |
| ·硅片台各故障模式风险排序 | 第43页 |
| ·小结 | 第43-45页 |
| 第四章 光刻机双工件台系统故障树分析 | 第45-65页 |
| ·故障树分析与二元决策图 | 第45-50页 |
| ·FTA 的定义 | 第45-46页 |
| ·FTA 基本流程 | 第46-49页 |
| ·建造故障树 | 第46-48页 |
| ·故障树定性分析 | 第48-49页 |
| ·故障树定量分析 | 第49页 |
| ·二元决策图 | 第49-50页 |
| ·故障树向 BDD 转换算法 | 第50页 |
| ·基本事件排序法则 | 第50页 |
| ·建立掩模台及硅片台精度故障树 | 第50-56页 |
| ·顶事件选取 | 第50-52页 |
| ·精度故障树定性分析 | 第52-56页 |
| ·硅片台 | 第52-54页 |
| ·掩模台 | 第54-56页 |
| ·精度故障树转化 BDD | 第56-60页 |
| ·定性分析 | 第56-57页 |
| ·定量分析 | 第57-60页 |
| ·精度故障树 | 第60-64页 |
| ·小结 | 第64-65页 |
| 第五章 双工作台系统关键组件的可靠性试验方案设计 | 第65-81页 |
| ·可靠性试验总则 | 第65-66页 |
| ·气浮轴承可靠性实验 | 第66-73页 |
| ·概述 | 第66-68页 |
| ·试验大纲制定 | 第68-73页 |
| ·音圈电机可靠性试验 | 第73-80页 |
| ·概述 | 第73-74页 |
| ·试验大纲制定 | 第74-80页 |
| ·小结 | 第80-81页 |
| 第六章 结论与展望 | 第81-83页 |
| ·结论 | 第81页 |
| ·展望 | 第81-83页 |
| 致谢 | 第83-84页 |
| 参考文献 | 第84-88页 |