| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-17页 |
| ·半导体器件数值模拟 | 第11-12页 |
| ·球谐波展开法求解玻尔兹曼方程的发展状况和历史 | 第12-14页 |
| ·主要工作和创新 | 第14-15页 |
| ·论文的结构安排 | 第15-17页 |
| 第二章 半导体器件数值模拟理论 | 第17-40页 |
| ·半导体物理方程 | 第17-22页 |
| ·泊松方程 | 第17-19页 |
| ·玻尔兹曼方程 | 第19-21页 |
| ·漂移扩散模型基本方程 | 第21-22页 |
| ·流体力学模型基本方程 | 第22页 |
| ·能带结构 | 第22-25页 |
| ·抛物线能带结构 | 第22-24页 |
| ·电子速度 | 第24-25页 |
| ·散射机制 | 第25-27页 |
| ·声子散射 | 第25-26页 |
| ·电离杂质散射 | 第26页 |
| ·载流子载流子散射 | 第26-27页 |
| ·球谐波函数 | 第27-29页 |
| ·网格划分 | 第29-31页 |
| ·矩形网格 | 第29-30页 |
| ·三角形网格 | 第30-31页 |
| ·数值离散方法 | 第31-33页 |
| ·有限差分法 | 第31-33页 |
| ·有限体积法 | 第33页 |
| ·边界条件 | 第33-36页 |
| ·欧姆接触边界 | 第35-36页 |
| ·纽曼边界 | 第36页 |
| ·方程组求解方法 | 第36-38页 |
| ·非耦合法 | 第36-37页 |
| ·耦合法 | 第37-38页 |
| ·数值稳定技术 | 第38-39页 |
| ·最大熵消散 | 第38页 |
| ·H-转换 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第三章 球谐波展开法 | 第40-53页 |
| ·项匹配法 | 第40-42页 |
| ·Galerkin 方法 | 第42-46页 |
| ·谐波投影法 | 第46-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第四章 Galerkin 法数值模拟N + NN +管 | 第53-63页 |
| ·矩形网格划分 | 第53页 |
| ·差分离散 | 第53-55页 |
| ·单边差分 | 第53-54页 |
| ·迎风格式差分 | 第54-55页 |
| ·Galerkin 法求解玻尔兹曼方程 | 第55-60页 |
| ·设置边界条件 | 第60-61页 |
| ·奇数谐波的边界条件 | 第60页 |
| ·偶数谐波的边界条件 | 第60-61页 |
| ·非耦合求解分布函数 | 第61页 |
| ·本章小结 | 第61-63页 |
| 第五章 结果分析 | 第63-76页 |
| ·N + NN +建模 | 第63-64页 |
| ·泊松方程的求解 | 第64页 |
| ·玻尔兹曼方程的求解 | 第64-67页 |
| ·一阶展开系数的求解方程 | 第64-66页 |
| ·零阶展开系数的求解方程 | 第66-67页 |
| ·程序算法流程图 | 第67-68页 |
| ·求解结果分析 | 第68-75页 |
| ·电势分布 | 第68页 |
| ·掺杂浓度分布 | 第68-71页 |
| ·分布函数展开系数分布 | 第71-72页 |
| ·电子浓度分布 | 第72-75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 第六章 结束语 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-81页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第81-82页 |