集成电路生产车间的安全风险控制
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-15页 |
| ·论文选题背景 | 第9-10页 |
| ·国内外现状 | 第10-12页 |
| ·研究目的、意义及内容 | 第12-15页 |
| ·研究目的及意义 | 第12-13页 |
| ·研究内容 | 第13页 |
| ·研究技术路线 | 第13-15页 |
| 2 集成电路制造风险辨识 | 第15-17页 |
| ·风险辨识概念及原则 | 第15页 |
| ·概念 | 第15页 |
| ·风险辨识原则 | 第15页 |
| ·风险辨识步骤 | 第15-17页 |
| 3 集成电路制造风险评价 | 第17-42页 |
| ·集成电路制造工艺流程概述 | 第17-20页 |
| ·清洗 | 第17页 |
| ·氧化 | 第17页 |
| ·光刻 | 第17-18页 |
| ·蚀刻 | 第18页 |
| ·扩散 | 第18-19页 |
| ·离子植入 | 第19页 |
| ·化学气相沉积 | 第19页 |
| ·物理气相沉积 | 第19页 |
| ·化学机械研磨 | 第19页 |
| ·金属化 | 第19-20页 |
| ·危险、有害因素识别 | 第20-24页 |
| ·危险、有害因素种类 | 第20-23页 |
| ·危险、有害因素存在部位 | 第23-24页 |
| ·危险、有害因素分析 | 第24-29页 |
| ·意外事件统计分析 | 第24-25页 |
| ·液态化学品危害分析 | 第25-26页 |
| ·气体危害分析 | 第26-29页 |
| ·危险、有害因素风险评价 | 第29-42页 |
| ·风险评价方法 | 第29-30页 |
| ·危险、有害因素风险评价 | 第30-42页 |
| 4 集成电路生产风险控制 | 第42-57页 |
| ·风险控制概述 | 第42-44页 |
| ·风险控制因素 | 第42-43页 |
| ·风险控制方法 | 第43-44页 |
| ·安全监控措施 | 第44-51页 |
| ·气体/化学品安全监控措施 | 第44-49页 |
| ·火警侦测及灭火系统 | 第49-51页 |
| ·安全管理措施 | 第51-55页 |
| ·化学品安全管理 | 第51-53页 |
| ·设备安全管理 | 第53页 |
| ·电气安全管理 | 第53-54页 |
| ·辐射安全管理 | 第54-55页 |
| ·其它安全管理措施 | 第55页 |
| ·安全技术措施 | 第55-57页 |
| 5 结论 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-60页 |
