| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-16页 |
| ·铜互连技术存在的可靠性问题 | 第9-11页 |
| ·铜互连应力迁移研究进展 | 第11-14页 |
| ·论文的主要工作及内容编排 | 第14-16页 |
| 第二章 通孔与线条重叠长度对铜互连应力迁移的影响 | 第16-24页 |
| ·模拟结构模型 | 第16-18页 |
| ·结果与讨论 | 第18-22页 |
| ·本章小结 | 第22-24页 |
| 第三章 窄金属过渡区对铜互连应力迁移的影响 | 第24-31页 |
| ·模拟结构模型 | 第24-26页 |
| ·结果与讨论 | 第26-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第四章 互连结构对铜互连应力迁移的影响 | 第31-39页 |
| ·两种不同金属线连接金属板结构模型应力迁移特性的比较 | 第31-34页 |
| ·结构模型 | 第31-32页 |
| ·结果与讨论 | 第32-34页 |
| ·两种不同通孔测试结构模型应力迁移特性的比较 | 第34-37页 |
| ·结构模型 | 第34-35页 |
| ·结果与讨论 | 第35-37页 |
| ·本章小结 | 第37-39页 |
| 结论 | 第39-41页 |
| 参考文献 | 第41-45页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第45-46页 |
| 致谢 | 第46-47页 |
| 附件 | 第47页 |