基于线算法的BOSCH工艺三维模型与模拟
| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| ABSTRACT | 第9-10页 |
| 第一章 绪论 | 第15-23页 |
| 1.1 MEMS简介 | 第15-18页 |
| 1.2 MEMS加工技术 | 第18-20页 |
| 1.2.1 表面微机械加工技术 | 第19页 |
| 1.2.2 体微机械加工技术 | 第19页 |
| 1.2.3 其他微机械加工技术 | 第19-20页 |
| 1.3 MEMS CAD | 第20-21页 |
| 1.4 本课题研究的目的及意义 | 第21-22页 |
| 1.5 本文的内容结构 | 第22-23页 |
| 第二章 几种MEMS设计仿真平台 | 第23-32页 |
| 2.1 Coventorware | 第23-25页 |
| 2.2 Intellisuite | 第25-26页 |
| 2.3 MEMS Pro | 第26-28页 |
| 2.4 MEMS Garden | 第28-29页 |
| 2.5 IMEE | 第29-32页 |
| 第三章 现有常见的三维表面演化算法 | 第32-39页 |
| 3.1 三维元胞模型 | 第32-33页 |
| 3.2 一种通用的小平面运动三维表面算法 | 第33-35页 |
| 3.3 线算法 | 第35-36页 |
| 3.4 射线算法 | 第36-37页 |
| 3.5 偏微分方程法 | 第37页 |
| 3.6 水平集方法 | 第37-39页 |
| 第四章 BOSCH工艺模型 | 第39-48页 |
| 4.1 刻蚀工艺 | 第39-43页 |
| 4.1.1 湿法刻蚀 | 第39-40页 |
| 4.1.2 干法刻蚀 | 第40-42页 |
| 4.1.3 三维刻蚀模型 | 第42-43页 |
| 4.2 淀积工艺 | 第43-47页 |
| 4.2.1 物理淀积技术 | 第43-44页 |
| 4.2.2 化学气相淀积技术 | 第44-46页 |
| 4.2.3 三维淀积模型 | 第46-47页 |
| 4.3 BOSCH工艺模型 | 第47-48页 |
| 第五章 改进的三维线算法及对BOSCH工艺的应用 | 第48-56页 |
| 5.1 改进的三维线算法 | 第48-49页 |
| 5.2 Bosch工艺模拟结果 | 第49-54页 |
| 5.3 结果分析 | 第54-56页 |
| 第六章 总结与展望 | 第56-58页 |
| 6.1 本论文的主要工作 | 第56页 |
| 6.2 本课题工作展望 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第61页 |
