摘要 | 第4-6页 |
Abstract | 第6-7页 |
目录 | 第8-10页 |
1 引言 | 第10-16页 |
1.1 选题背景和意义 | 第10-13页 |
1.2 研究现状 | 第13-15页 |
1.2.1 国内研究现状 | 第14页 |
1.2.2 国外研究现状 | 第14-15页 |
1.3 本论文内容和结构 | 第15-16页 |
2 纳米压印的原理和分类 | 第16-26页 |
2.1 纳米压印基本原理 | 第16-17页 |
2.2 纳米压印技术分类 | 第17-21页 |
2.2.1 热压印技术 | 第17-18页 |
2.2.2 紫外纳米压印技术 | 第18-20页 |
2.2.3 微接触压印技术 | 第20-21页 |
2.3 纳米压印施压方式的新发展 | 第21-25页 |
2.3.1 固体双平板施压技术 | 第21-22页 |
2.3.2 电磁力辅助施压技术 | 第22-23页 |
2.3.3 滚轴式施压技术 | 第23-24页 |
2.3.4 气压辅助式施压技术 | 第24-25页 |
2.4 本章小结 | 第25-26页 |
3 压缩式气体施压纳米压印施压活塞结构和纵向振源分析 | 第26-41页 |
3.1 系统结构和施压原理 | 第26-27页 |
3.2 活塞系统结构 | 第27-32页 |
3.3 微观接触分析 | 第32-38页 |
3.3.1 微观形貌接触理论分析 | 第32-36页 |
3.3.2 微观形貌接触有限元分析 | 第36-38页 |
3.4 活塞滑动振源分析 | 第38-40页 |
3.5 本章小结 | 第40-41页 |
4 压缩式气体施压纳米压印系统横向减振分析 | 第41-57页 |
4.1 横向振动传递分析 | 第41页 |
4.2 减振环材料优化 | 第41-51页 |
4.3 减振环物理内部结构优化 | 第51-55页 |
4.4 本章小结 | 第55-57页 |
5 压缩式气体施压纳米压印纵向减振分析 | 第57-67页 |
5.1 纵向振动传递分析 | 第57-59页 |
5.2 减振材料分析 | 第59-60页 |
5.3 减振堆栈结构分析 | 第60-66页 |
5.4 本章小结 | 第66-67页 |
6 结论与展望 | 第67-70页 |
6.1 结论 | 第67-69页 |
6.2 展望 | 第69-70页 |
参考文献 | 第70-73页 |
个人简历、学期间发表的学术论文以及科研成果 | 第73-75页 |
致谢 | 第75页 |