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压缩式气体施压纳米压印系统的减振分析

摘要第4-6页
Abstract第6-7页
目录第8-10页
1 引言第10-16页
    1.1 选题背景和意义第10-13页
    1.2 研究现状第13-15页
        1.2.1 国内研究现状第14页
        1.2.2 国外研究现状第14-15页
    1.3 本论文内容和结构第15-16页
2 纳米压印的原理和分类第16-26页
    2.1 纳米压印基本原理第16-17页
    2.2 纳米压印技术分类第17-21页
        2.2.1 热压印技术第17-18页
        2.2.2 紫外纳米压印技术第18-20页
        2.2.3 微接触压印技术第20-21页
    2.3 纳米压印施压方式的新发展第21-25页
        2.3.1 固体双平板施压技术第21-22页
        2.3.2 电磁力辅助施压技术第22-23页
        2.3.3 滚轴式施压技术第23-24页
        2.3.4 气压辅助式施压技术第24-25页
    2.4 本章小结第25-26页
3 压缩式气体施压纳米压印施压活塞结构和纵向振源分析第26-41页
    3.1 系统结构和施压原理第26-27页
    3.2 活塞系统结构第27-32页
    3.3 微观接触分析第32-38页
        3.3.1 微观形貌接触理论分析第32-36页
        3.3.2 微观形貌接触有限元分析第36-38页
    3.4 活塞滑动振源分析第38-40页
    3.5 本章小结第40-41页
4 压缩式气体施压纳米压印系统横向减振分析第41-57页
    4.1 横向振动传递分析第41页
    4.2 减振环材料优化第41-51页
    4.3 减振环物理内部结构优化第51-55页
    4.4 本章小结第55-57页
5 压缩式气体施压纳米压印纵向减振分析第57-67页
    5.1 纵向振动传递分析第57-59页
    5.2 减振材料分析第59-60页
    5.3 减振堆栈结构分析第60-66页
    5.4 本章小结第66-67页
6 结论与展望第67-70页
    6.1 结论第67-69页
    6.2 展望第69-70页
参考文献第70-73页
个人简历、学期间发表的学术论文以及科研成果第73-75页
致谢第75页

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