互连线RC端角的研究与定制
| 表目录 | 第1-7页 |
| 图目录 | 第7-9页 |
| 摘要 | 第9-10页 |
| ABSTRACT | 第10-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-17页 |
| ·课题研究背景 | 第11-13页 |
| ·国内外相关研究 | 第13-15页 |
| ·本文主要工作 | 第15页 |
| ·本文的组织结构 | 第15-17页 |
| 第二章 MMMC时序分析概述 | 第17-25页 |
| ·端角参数设置及定义 | 第17-19页 |
| ·时序分析 | 第19-23页 |
| ·分析模型 | 第19-21页 |
| ·分析模式 | 第21-23页 |
| ·MMMC时序分析流程 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 互连线RC端角的研究 | 第25-47页 |
| ·互连线基础 | 第25-29页 |
| ·寄生参数提取技术 | 第25-28页 |
| ·互连线延时模型 | 第28-29页 |
| ·互连线工艺参数的波动及影响 | 第29-33页 |
| ·线宽和线间距 | 第30-31页 |
| ·线厚度和层间介电厚度 | 第31-32页 |
| ·互连线材料参数 | 第32页 |
| ·对电路性能的影响 | 第32-33页 |
| ·RC端角下互连工艺参数分析 | 第33-39页 |
| ·互连结构 | 第34页 |
| ·线宽度及线间距分析 | 第34-37页 |
| ·线厚度及层间介电厚度分析 | 第37-38页 |
| ·分析结论 | 第38-39页 |
| ·实验分析 | 第39-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 RC端角的定制及评估 | 第47-64页 |
| ·MMMC时序验证中的问题 | 第47-48页 |
| ·RC端角定制流程 | 第48-54页 |
| ·定制工艺描述文件 | 第49-52页 |
| ·转换工艺描述文件 | 第52页 |
| ·提取寄生参数 | 第52-54页 |
| ·RC端角的实现与分析 | 第54-56页 |
| ·RC端角实现 | 第54-55页 |
| ·实验结果分析 | 第55-56页 |
| ·RC端角评估 | 第56-62页 |
| ·覆盖率计算及脚本实现 | 第57-59页 |
| ·测试电路及端角设置 | 第59页 |
| ·结果及分析 | 第59-62页 |
| ·本章小结 | 第62-64页 |
| 第五章 定制端角的应用 | 第64-68页 |
| ·改进时序分析流程 | 第64-65页 |
| ·应用实例及分析 | 第65-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 第六章 总结与展望 | 第68-70页 |
| ·课题工作总结 | 第68-69页 |
| ·未来工作展望 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-74页 |
| 参与的科研项目 | 第74-75页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第75页 |
