超高加速精密运动平台的动态设计与优化
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 课题背景及意义 | 第10-12页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第12-16页 |
| 1.2.1 性能指标 | 第12页 |
| 1.2.2 机构形式 | 第12-13页 |
| 1.2.3 驱动方式 | 第13-15页 |
| 1.2.4 动态设计 | 第15-16页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第2章 XY 平台的结构设计 | 第18-25页 |
| 2.1 引言 | 第18页 |
| 2.2 XY 平台的指标要求 | 第18-19页 |
| 2.2.1 运动部件质量要求 | 第18页 |
| 2.2.2 运动指标要求 | 第18-19页 |
| 2.2.3 总体尺寸与接口要求 | 第19页 |
| 2.2.4 动态性能要求 | 第19页 |
| 2.3 XY 平台的典型运动 | 第19-20页 |
| 2.4 主要部件的选择 | 第20-23页 |
| 2.4.1 驱动部件的选择 | 第20-21页 |
| 2.4.2 导向部件的选择 | 第21-23页 |
| 2.4.3 检测元件的选择 | 第23页 |
| 2.5 平台整体结构方案的确定 | 第23-24页 |
| 2.6 本章小结 | 第24-25页 |
| 第3章 模态参数识别 | 第25-36页 |
| 3.1 引言 | 第25-26页 |
| 3.2 导轨装置的动力学建模 | 第26-30页 |
| 3.2.1 模型的简化 | 第26-27页 |
| 3.2.2 自由振动微分方程组的建立 | 第27-30页 |
| 3.3 考虑连接件柔性的有限元分析 | 第30-32页 |
| 3.4 参数识别振型的选取 | 第32页 |
| 3.5 模态参数识别实验 | 第32-35页 |
| 3.6 本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 XY 平台的动态设计 | 第36-53页 |
| 4.1 引言 | 第36页 |
| 4.2 Y 运动部件的分析与优化 | 第36-40页 |
| 4.2.1 优化前的模态分析 | 第36-38页 |
| 4.2.2 Y 连接件的拓扑优化 | 第38-40页 |
| 4.2.3 优化前后对比 | 第40页 |
| 4.3 X 运动部件的分析与优化 | 第40-44页 |
| 4.3.1 优化前的模态分析 | 第40-41页 |
| 4.3.2 X 连接件的拓扑优化 | 第41-42页 |
| 4.3.3 X 连接件的改进 | 第42-43页 |
| 4.3.4 优化改进前后的对比 | 第43-44页 |
| 4.4 XY 平台的模态分析 | 第44-46页 |
| 4.5 负载力作用下的响应分析 | 第46-50页 |
| 4.5.1 瞬态动力学分析 | 第47-49页 |
| 4.5.2 稳态动力学分析 | 第49-50页 |
| 4.6 运动过程中的跟随误差 | 第50-52页 |
| 4.7 本章小结 | 第52-53页 |
| 第5章 XY 平台的搭建与实验 | 第53-61页 |
| 5.1 引言 | 第53页 |
| 5.2 XY 平台的搭建 | 第53-54页 |
| 5.3 XY 平台的基本性能测试 | 第54页 |
| 5.4 XY 平台的振动性能测试 | 第54-60页 |
| 5.4.1 测试系统的组成 | 第54-55页 |
| 5.4.2 固有频率与振型测试 | 第55-60页 |
| 5.5 本章小结 | 第60-61页 |
| 结论 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
