基于DMD的无掩膜曝光系统关键技术研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 符号对照表 | 第11-12页 |
| 缩略语对照表 | 第12-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-21页 |
| 1.1 课题研究的背景意义 | 第15-16页 |
| 1.2 自动对焦技术的国内外研究现状 | 第16-19页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第16-18页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第18-19页 |
| 1.3 现在的自动调焦方法存在的问题 | 第19页 |
| 1.4 本论文的研究内容与结构安排 | 第19-21页 |
| 第二章 自动调焦理论基础研究 | 第21-35页 |
| 2.1 成像模型理论研究 | 第21-26页 |
| 2.1.1 光学成像原理 | 第21-23页 |
| 2.1.2 成像系统的点扩散函数与光学传递函数 | 第23-26页 |
| 2.2 调焦方法研究 | 第26-28页 |
| 2.2.1 离焦深度法 | 第26-27页 |
| 2.2.2 聚焦深度法 | 第27-28页 |
| 2.3 图像预处理 | 第28-34页 |
| 2.3.1 图像去噪方法 | 第28-31页 |
| 2.3.2 消除光线影响 | 第31-34页 |
| 2.4 小结 | 第34-35页 |
| 第三章 清晰度评价函数的研究 | 第35-61页 |
| 3.1 清晰度评价算法评价指标 | 第35-37页 |
| 3.2 典型的清晰度评价算法 | 第37-45页 |
| 3.2.1 基于空域的评价算法 | 第37-40页 |
| 3.2.2 基于频域的评价算法 | 第40-45页 |
| 3.2.3 基于信息学的评价算法 | 第45页 |
| 3.2.4 基于统计学的评价算法 | 第45页 |
| 3.3 典型清晰度评价函数性能指标对比 | 第45-48页 |
| 3.4 基于人类视觉的小波包变换清晰度评价算法 | 第48-59页 |
| 3.4.1 人类视觉(HVS)特性 | 第48-49页 |
| 3.4.2 小波包变换 | 第49-53页 |
| 3.4.3 人类视觉与小波包加权 | 第53页 |
| 3.4.4 提出算法效果分析 | 第53-59页 |
| 3.5 小结 | 第59-61页 |
| 第四章 调焦窗口的构建与调焦搜索算法的研究 | 第61-79页 |
| 4.1 调焦窗口的选择 | 第61-65页 |
| 4.1.1 调焦窗口选择的指标及影响 | 第61-64页 |
| 4.1.2 调焦窗口选择的方法 | 第64-65页 |
| 4.2 单尺度与多尺度结合的自适应取窗方法 | 第65-75页 |
| 4.2.1 单尺度频率调谐 | 第65-66页 |
| 4.2.2 多尺度频率调谐 | 第66-67页 |
| 4.2.3 单尺度与多尺度进行结合 | 第67-69页 |
| 4.2.4 窗口的构建 | 第69-70页 |
| 4.2.5 窗口构建的效果分析 | 第70-75页 |
| 4.3 调焦搜索算法的研究 | 第75-77页 |
| 4.3.1 Fibonacci搜索法 | 第75-76页 |
| 4.3.2 爬山搜索法 | 第76页 |
| 4.3.3 改进的爬山搜索算法 | 第76-77页 |
| 4.4 小结 | 第77-79页 |
| 第五章 曝光机视频流方案的设计 | 第79-85页 |
| 5.1 DLP6500设备 | 第79页 |
| 5.2 视频流方案 | 第79-80页 |
| 5.3 效果以及实验展示 | 第80-83页 |
| 5.4 小结 | 第83-85页 |
| 第六章 总结与展望 | 第85-87页 |
| 6.1 工作总结 | 第85页 |
| 6.2 未来展望 | 第85-87页 |
| 参考文献 | 第87-91页 |
| 致谢 | 第91-93页 |
| 作者简介 | 第93-94页 |
