集成电路精密引线模具微细超声加工设备开发及实验研究
| 致谢 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7页 |
| 1. 引言 | 第11-17页 |
| 1.1 选题背景 | 第11-13页 |
| 1.2 金刚石模具整形及抛光加工技术现状 | 第13-14页 |
| 1.3 课题的主要研究内容 | 第14-17页 |
| 1.3.1 超声系统设计 | 第14页 |
| 1.3.2 超声加工机床设计与制造 | 第14-15页 |
| 1.3.3 超声加工实验研究 | 第15-17页 |
| 2. 超声加工技术概述 | 第17-21页 |
| 2.1 超声加工技术的提出及分类 | 第17页 |
| 2.2 超声加工技术的发展及特点 | 第17-18页 |
| 2.3 超声加工的基本原理及设备 | 第18-21页 |
| 3. 换能器的设计 | 第21-37页 |
| 3.1 换能器压电材料及性能 | 第21-28页 |
| 3.1.1 压电效应 | 第21-22页 |
| 3.1.2 压电陶瓷 | 第22-24页 |
| 3.1.3 压电陶瓷性能参数 | 第24-28页 |
| 3.2 换能器材料选择 | 第28-29页 |
| 3.3 换能器的设计组装 | 第29-34页 |
| 3.3.1 频率和振幅的选择 | 第29页 |
| 3.3.2 夹心式换能器的结构 | 第29-30页 |
| 3.3.3 压电陶瓷晶片的设计 | 第30-32页 |
| 3.3.4 前后盖板 | 第32页 |
| 3.3.5 预应力螺栓 | 第32-33页 |
| 3.3.6 其他注意事项 | 第33页 |
| 3.3.7 换能器的组装 | 第33-34页 |
| 3.4 本章小结 | 第34-37页 |
| 4. 变幅杆的设计 | 第37-53页 |
| 4.1 变幅杆的发展及设计方法 | 第37-39页 |
| 4.1.1 变幅杆的发展 | 第37-38页 |
| 4.1.2 变幅杆的设计方法 | 第38-39页 |
| 4.2 变幅杆的设计要素 | 第39-40页 |
| 4.2.1 变幅杆的形状 | 第39页 |
| 4.2.2 变幅杆材料的选择 | 第39-40页 |
| 4.3 变幅杆的解析分析 | 第40-42页 |
| 4.3.1 变截面杆的振动方程 | 第40页 |
| 4.3.2 阶梯型变幅杆的解析计算 | 第40-42页 |
| 4.4 变幅杆的有限元分析 | 第42-48页 |
| 4.4.1 有限元简介 | 第42-43页 |
| 4.4.2 有限元方法弹性动力学的理论基础 | 第43-44页 |
| 4.4.3 变幅杆的模态分析 | 第44-47页 |
| 4.4.4 谐响应分析 | 第47-48页 |
| 4.5 阶梯型变幅杆的优化 | 第48-51页 |
| 4.5.1 结构优化 | 第48页 |
| 4.5.2 模态分析 | 第48-50页 |
| 4.5.3 谐响应分析 | 第50-51页 |
| 4.6 本章小节 | 第51-53页 |
| 5. 超声加工机床的设计与制造 | 第53-71页 |
| 5.1 总体设计思路 | 第53-54页 |
| 5.2 工具系统设计 | 第54-60页 |
| 5.2.1 三维调节工作台 | 第54-56页 |
| 5.2.2 压力调节机构 | 第56-57页 |
| 5.2.3 超声系统附属结构 | 第57-60页 |
| 5.3 工件系统设计 | 第60-63页 |
| 5.3.1 旋转工作台 | 第60-62页 |
| 5.3.2 调心机构 | 第62-63页 |
| 5.4 CCD系统设计 | 第63-66页 |
| 5.4.1 CCD成像系统 | 第63-64页 |
| 5.4.2 CRT屏幕 | 第64-65页 |
| 5.4.3 CCD系统位置调节装置 | 第65-66页 |
| 5.5 主要零部件的计算与校核 | 第66-69页 |
| 5.5.1 压力调节机构支撑轴的校核 | 第66-67页 |
| 5.5.2 直线导轨的校核 | 第67-69页 |
| 5.6 超声加工机床的制造、装配与调试 | 第69页 |
| 5.7 本章小节 | 第69-71页 |
| 6. 超声加工实验研究 | 第71-81页 |
| 6.1 加工实验 | 第71-75页 |
| 6.1.1 工具针 | 第71页 |
| 6.1.2 磨料 | 第71-72页 |
| 6.1.3 加工效果 | 第72-75页 |
| 6.2 实验与结果分析 | 第75-80页 |
| 6.2.1 加工参数正交参数 | 第75-76页 |
| 6.2.2 各加工参数对MRR的影响研究 | 第76-80页 |
| 6.3 本章小结 | 第80-81页 |
| 7. 结论 | 第81-85页 |
| 1. 总结 | 第81-82页 |
| 2. 展望 | 第82-85页 |
| 参考文献 | 第85-89页 |
| 附录A | 第89-97页 |
| 作者简历 | 第97-101页 |
| 学位论文数据集 | 第101页 |
