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面向芯片封装的高速精密定位平台控制系统设计

中文摘要第1-4页
英文摘要第4-8页
第一章 绪论第8-14页
   ·课题研究意义和来源第8-10页
   ·国内外研究状况第10-12页
     ·动力学建模第10-11页
     ·运动控制第11-12页
   ·本文主要研究内容第12-14页
第二章 定位平台总体设计第14-24页
   ·引言第14页
   ·总体结构设计第14-18页
     ·弹性解耦机构设计第16-17页
     ·音圈电机第17-18页
   ·定位平台控制系统第18-21页
   ·样机开发第21-22页
   ·本章小结第22-24页
第三章 定位平台数学模型第24-30页
   ·引言第24页
   ·定位平台机电耦合建模第24-28页
     ·Y 轴向动力学建模第24-25页
     ·X 轴向动力学建模第25-26页
     ·音圈电机动态数学方程第26-27页
     ·机电耦合数学模型第27-28页
   ·数学模型各参数数值第28-29页
   ·本章小结第29-30页
第四章 定位平台运动控制第30-40页
   ·引言第30页
   ·运动平台控制模型建立第30-34页
     ·机电耦合传递函数第30-32页
     ·平台控制方框图第32-34页
   ·运动平台控制第34-38页
     ·PID 控制原理第34-35页
     ·最小节拍响应第35-37页
     ·计算机仿真第37-38页
   ·本章小结第38-40页
第五章 实验第40-48页
   ·引言第40页
   ·实验目的及仪器第40-41页
   ·实验步骤第41-42页
   ·实验结果及数据分析第42-46页
   ·本章小结第46-48页
第六章 全文结论第48-51页
   ·结论第48-50页
   ·工作展望第50-51页
参考文献第51-55页
作者在攻读硕士学位期间参加的科研项目和完成的学术论文第55-56页
致谢第56页

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