| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-24页 |
| ·研究背景 | 第10-12页 |
| ·微纳加工的研究进展及国内外研究现状 | 第12-14页 |
| ·微纳加工实验研究 | 第12-13页 |
| ·微纳加工测量技术的研究 | 第13-14页 |
| ·微纳加工过程的计算机模拟方法 | 第14-21页 |
| ·有限元方法 | 第14-15页 |
| ·分子动力学方法 | 第15-17页 |
| ·多尺度方法 | 第17-21页 |
| ·本文研究内容和意义 | 第21-24页 |
| 第2章 准连续介质方法的基本原理 | 第24-38页 |
| ·准连续介质方法的核心思想 | 第24页 |
| ·准连续介质计算方法 | 第24-35页 |
| ·局部区QC计算方法 | 第25-28页 |
| ·非局部区QC计算方法 | 第28-31页 |
| ·局部/非局部交界面的耦合 | 第31-35页 |
| ·网格自适应 | 第35-38页 |
| 第3章 Si/Cu复合材料微纳加工过程多尺度模拟研究 | 第38-68页 |
| ·微纳加工的几何模型 | 第38-39页 |
| ·模拟程序的实现 | 第39-42页 |
| ·微纳加工过程多尺度模拟研究 | 第42-68页 |
| ·单晶铜微纳加工过程模拟 | 第43-58页 |
| ·单晶硅微纳加工过程模拟 | 第58-64页 |
| ·Si/Cu复合材料微纳加工结果分析 | 第64-68页 |
| 第4章 结论 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-78页 |
| 致谢 | 第78页 |