适应MCM关键制造工艺的试验设计算法研究与软件实现

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-8页
第一章 绪论	第8-13页
·MCM 关键工艺的统计表征与优化	第8-10页
·试验设计技术	第10-11页
·国内外研究现状	第11-12页
·论文主要研究内容与组织结构	第12-13页
第二章 试验设计与MCM 工艺优化	第13-27页
·试验设计技术的基本概念	第13-15页
·试验设计的定义	第13-14页
·试验设计的意义与原则	第14-15页
·试验设计关键技术	第15-22页
·试验方案的设计方法	第15-20页
·试验数据的分析方法	第20-22页
·MCM 关键工艺统计表征与优化的技术思路	第22-25页
·本章小结	第25-27页
第三章 D 最优化试验设计及其数值算法	第27-36页
·基于传统试验设计的MCM 涂胶工艺的表征与优化	第27-30页
·计算机辅助试验设计	第30-31页
·D 最优化设计算法及其实现方法	第31-35页
·本章小结	第35-36页
第四章 基于D 最优化试验设计的干法刻蚀工艺优化	第36-57页
·MCM 生产线中干法刻蚀工艺	第36-38页
·干法刻蚀工艺优化试验方案	第38-44页
·MCM 干法刻蚀工艺与指定的模型形式	第38-40页
·基于D 最优化设计试验方案的构造	第40-43页
·试验结果测量与试验中注意的问题	第43-44页
·数据分析与工艺优化	第44-47页
·试验设计软件与 D 最优化模块的软件实现	第47-56页
·Lanaca DOE 系统简介	第47-52页
·D 最优化设计软件模块的实现	第52-56页
·本章小结	第56-57页
第五章 结束语	第57-58页
致谢	第58-59页
参考文献	第59-62页