引线键合铜球加热装置及实验研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第13-28页 |
| 1.1 本课题研究背景 | 第13-14页 |
| 1.2 铜丝引线键合的研究现状 | 第14-23页 |
| 1.2.1 铜线键合技术 | 第14-15页 |
| 1.2.2 键合铜线的特性 | 第15-16页 |
| 1.2.3 铜线键合技术还存在的问题 | 第16-17页 |
| 1.2.4 铜线键合的新的工艺方法和进展 | 第17-19页 |
| 1.2.5 键合铜丝材料的研究进展 | 第19-22页 |
| 1.2.6 铜丝烧球工艺 | 第22-23页 |
| 1.3 铜丝的键合机理 | 第23-26页 |
| 1.3.1 超声热效应 | 第23-24页 |
| 1.3.2 塑性变形 | 第24页 |
| 1.3.3 微滑移磨损 | 第24-26页 |
| 1.4 本课题研究的目的和意义 | 第26-27页 |
| 1.5 本课题主要研究内容 | 第27-28页 |
| 第二章 铜丝球键合过程的数值模拟 | 第28-38页 |
| 2.1 键合铜丝的材料性能 | 第28-29页 |
| 2.2 铜丝球键合过程的数值模拟 | 第29-37页 |
| 2.2.1 非线性大变形、接触分析 | 第29-30页 |
| 2.2.2 几何模型的建立、有限元网格的划分 | 第30-33页 |
| 2.2.3 铜丝球键合过程的有限元模拟 | 第33-37页 |
| 2.3 本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 铜、金丝球键合对比实验研究 | 第38-56页 |
| 3.1 实验设备的介绍 | 第38-40页 |
| 3.1.1 金丝球焊机 | 第38-39页 |
| 3.1.2 气体流量计 | 第39页 |
| 3.1.3 氮气柜 | 第39-40页 |
| 3.1.4 劈刀 | 第40页 |
| 3.2 实验材料 | 第40-41页 |
| 3.2.1 铜丝、金丝 | 第40页 |
| 3.2.2 芯片 | 第40-41页 |
| 3.2.3 引线框架 | 第41页 |
| 3.2.4 氮氢混合气体 | 第41页 |
| 3.3 检测仪器 | 第41-42页 |
| 3.3.1 微机控制电子万能试验拉力机 | 第41-42页 |
| 3.3.2 超景深三维显微系统 | 第42页 |
| 3.4 超声功率对键合质量的影响 | 第42-48页 |
| 3.4.1 烧球参数的选取 | 第42-44页 |
| 3.4.2 超声功率对铜丝和金丝键合质量的影响 | 第44-48页 |
| 3.5 键合压力对键合质量的影响 | 第48-51页 |
| 3.5.1 键合压力对铜丝和金丝键合质量的影响 | 第48-51页 |
| 3.6 铜丝球键合的正交优化实验 | 第51-55页 |
| 3.6.1 正交实验设计 | 第52页 |
| 3.6.2 实验结果与分析 | 第52-55页 |
| 3.7 结论 | 第55页 |
| 3.8 本章小结 | 第55-56页 |
| 第四章 铜丝球加热装置和劈刀的设计及制作 | 第56-64页 |
| 4.1 加热装置设计的总体要求 | 第56页 |
| 4.1.1 现有加热方法介绍 | 第56页 |
| 4.1.2 加热装置的总体要求 | 第56页 |
| 4.1.3 可行性分析 | 第56页 |
| 4.2 加热方案的选择 | 第56-59页 |
| 4.2.1 电流加热的原理 | 第56-57页 |
| 4.2.2 加热方案的初步设计 | 第57-59页 |
| 4.3 新式劈刀的设计 | 第59-61页 |
| 4.3.1 劈刀材料的选择 | 第59-61页 |
| 4.3.2 劈刀外形尺寸的设计 | 第61页 |
| 4.4 试验与分析 | 第61-62页 |
| 4.5 新式劈刀的改进设计 | 第62-63页 |
| 4.6 本章小结 | 第63-64页 |
| 结论与展望 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-71页 |
| 攻读学位期间发表论文及专利 | 第71-73页 |
| 致谢 | 第73页 |
