硅片检测运动平台真空吸附系统设计与分析
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-17页 |
| 1.1 课题的来源、背景和意义 | 第8-9页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第9-16页 |
| 1.3 本文的主要研究内容与章节安排 | 第16-17页 |
| 2 真空吸附系统结构与拾取方案设计 | 第17-27页 |
| 2.1 引言 | 第17页 |
| 2.2 硅片的检测原理与需求分析 | 第17-19页 |
| 2.3 硅片检测运动平台的结构与工作流程 | 第19-21页 |
| 2.4 Z轴升降机构的设计 | 第21-23页 |
| 2.5 真空吸附回路的设计 | 第23-26页 |
| 2.6 本章小结 | 第26-27页 |
| 3 真空吸附系统关键部件建模与分析 | 第27-36页 |
| 3.1 引言 | 第27页 |
| 3.2 硅片多点支撑变形研究 | 第27-29页 |
| 3.3 Z轴升降机构建模与分析 | 第29-32页 |
| 3.4 真空吸盘流固耦合建模 | 第32-35页 |
| 3.5 本章小结 | 第35-36页 |
| 4 硅片吸附过程动力学建模与分析 | 第36-52页 |
| 4.1 引言 | 第36页 |
| 4.2 硅片吸附过程的理论分析 | 第36-38页 |
| 4.3 硅片吸附过程动网格建模 | 第38-46页 |
| 4.4 硅片吸附过程的动态特性分析 | 第46-51页 |
| 4.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 5 硅片吸附性能的实验研究 | 第52-60页 |
| 5.1 引言 | 第52页 |
| 5.2 实验装置与原理 | 第52-54页 |
| 5.3 硅片吸附过程的实验分析 | 第54-59页 |
| 5.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 6 总结与展望 | 第60-61页 |
| 6.1 全文总结 | 第60页 |
| 6.2 研究展望 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-64页 |
