| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.2 课题的意义与目的 | 第9-10页 |
| 1.3 高精度硅片检测运动平台发展与研究现状 | 第10-12页 |
| 1.4 电机运动控制技术发展状况 | 第12-16页 |
| 1.5 本文主要研究内容及章节安排 | 第16-17页 |
| 2 硅片检测平台运动控制系统设计分析 | 第17-29页 |
| 2.1 硅片检测原理 | 第17-18页 |
| 2.2 硅片检测台性能需求 | 第18-20页 |
| 2.3 硅片检测台结构设计 | 第20-21页 |
| 2.4 硅片检测台控制系统实现与特性 | 第21-26页 |
| 2.5 旋转轴运动扰动分析 | 第26-28页 |
| 2.6 本章小结 | 第28-29页 |
| 3 永磁同步直线电机速度开环数学模型建立与辨识 | 第29-40页 |
| 3.1 速度环开环数学模型的建立 | 第29-33页 |
| 3.2 基于经验模型的水平轴速度开环传递函数辨识 | 第33-35页 |
| 3.3 水平轴速度开环控制系统数学模型实验研究 | 第35-39页 |
| 3.4 本章小结 | 第39-40页 |
| 4 永磁同步直线电机速度环仿真实验研究 | 第40-64页 |
| 4.1 永磁同步直线伺服系统速度环模型及控制器分析 | 第40页 |
| 4.2 基于PI电机速度控制策略仿真与实验 | 第40-46页 |
| 4.3 基于重复控制的电机速度控制策略仿真分析 | 第46-51页 |
| 4.4 基于二阶积分滑模的电机速度控制策略仿真分析 | 第51-60页 |
| 4.5 永磁直线电机速度环实验与分析 | 第60-63页 |
| 4.6 本章小结 | 第63-64页 |
| 5 永磁同步电机伺服系统位置环策略研究与整机实验分析 | 第64-76页 |
| 5.1 位置环位置轨迹设计 | 第64-65页 |
| 5.2 基于PI控制方式的位置环控制器分析设计 | 第65-67页 |
| 5.3 基于双前馈PI策略的位置环控制设计与仿真分析 | 第67-71页 |
| 5.4 永磁直线电机位置环实验与分析 | 第71-72页 |
| 5.5 硅片检测平台三轴实验研究与验证 | 第72-75页 |
| 5.6 本章小结 | 第75-76页 |
| 6 总结与展望 | 第76-78页 |
| 6.1 全文总结 | 第76页 |
| 6.2 研究展望 | 第76-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-83页 |
| 附录 攻读硕士学位期间发表的专利 | 第83页 |
