| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-16页 |
| ·集成电路互连系统面临的挑战 | 第8-10页 |
| ·low-k 材料的研究进展 | 第10-14页 |
| ·新型 low-k 材料 | 第10-11页 |
| ·low-k 薄膜性能以及表征方法 | 第11-14页 |
| ·主要研究问题 | 第14页 |
| ·本章小结 | 第14-16页 |
| 第二章 声表面波技术表征薄膜机械特性 | 第16-30页 |
| ·表面波在固体媒介中的传播特性 | 第16-27页 |
| ·表面波在半无限大固体中的传播特性 | 第16-20页 |
| ·表面波在单层薄膜/基底结构中的传播特性 | 第20-22页 |
| ·表面波在多层薄膜/基底结构中的传播特性 | 第22-23页 |
| ·薄膜粘附性对声表面波频散特性曲线的影响 | 第23-27页 |
| ·激光激发声表面波技术实验系统 | 第27-28页 |
| ·理论频散特性曲线与实验频散特性曲线的拟合 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 有限元方法计算表面波的频散特性曲线 | 第30-62页 |
| ·有限元方法介绍 | 第30-32页 |
| ·有限元方法的基本思想 | 第30-31页 |
| ·有限元方法的特点 | 第31页 |
| ·有限元方法的步骤 | 第31-32页 |
| ·有限元方法计算表面波的理论频散特性曲线 | 第32-34页 |
| ·有限元方法计算表面波传播特性的计算结果 | 第34-42页 |
| ·表面波在 Si 基底上的传播特性 | 第34-35页 |
| ·表面波在薄膜/基底上的传播特性 | 第35-38页 |
| ·表面波在间隔结构上的传播特性 | 第38-42页 |
| ·粗糙度对表面波频散特性曲线的影响 | 第42-60页 |
| ·表面粗糙度的描述 | 第42-43页 |
| ·表面粗糙度的模型 | 第43-44页 |
| ·薄膜粗糙度对频散特性的影响 | 第44-57页 |
| ·三维模型的有限元仿真 | 第57-60页 |
| ·本章小结 | 第60-62页 |
| 第四章 LSAWs 技术表征薄膜/基底粘附性 | 第62-76页 |
| ·薄膜/基底的粘附性和常用检测方法 | 第62-63页 |
| ·激光激发表面波技术检测薄膜/基底的粘附性实验结果 | 第63-75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 第五章 总结与展望 | 第76-78页 |
| ·总结 | 第76-77页 |
| ·展望 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-82页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第82-83页 |
| 致谢 | 第83页 |