| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 1 绪论 | 第9-15页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·微流控分析芯片概述 | 第9-11页 |
| ·分类 | 第10页 |
| ·优点 | 第10页 |
| ·局限性 | 第10-11页 |
| ·发展趋势 | 第11页 |
| ·微流控分析芯片的发展简史 | 第11-12页 |
| ·微流控分析芯片的研究发展现状 | 第12-13页 |
| ·制作加工工艺发展现状 | 第12-13页 |
| ·微流体流控特性研究现状 | 第13页 |
| ·本文的研究目的和内容 | 第13-15页 |
| ·研究目的 | 第13-14页 |
| ·研究内容 | 第14-15页 |
| 2 微流控分析芯片的制作 | 第15-38页 |
| ·材料的选择 | 第15-16页 |
| ·微结构的设计 | 第16页 |
| ·玻璃微流控芯片的制作工艺 | 第16-35页 |
| ·制作初期准备 | 第17-19页 |
| ·曝光、显影及去铬层 | 第19-22页 |
| ·化学湿法刻蚀 | 第22-34页 |
| ·刻蚀原理 | 第22-23页 |
| ·实验研究 | 第23-33页 |
| ·对比分析 | 第33页 |
| ·刻蚀工艺优化结果 | 第33-34页 |
| ·去光胶、铬层及打孔 | 第34页 |
| ·低温/室温键合 | 第34-35页 |
| ·制作成品 | 第35-37页 |
| ·小结 | 第37-38页 |
| 3 微流控分析芯片中微流体的动电力学理论 | 第38-58页 |
| ·微流控中的动电效应 | 第38页 |
| ·双电层和Zeta电势 | 第38-40页 |
| ·电泳(Electrophoresis) | 第40页 |
| ·微通道中的电渗流(Electroosmosis) | 第40-43页 |
| ·电渗流的形成机理 | 第41-42页 |
| ·假设和近似 | 第42页 |
| ·电渗流的控制方程 | 第42-43页 |
| ·微流控分析芯片动电驱动数学模型 | 第43-45页 |
| ·模型求解 | 第45-47页 |
| ·Poisson-Boltzmann方程求解 | 第45-46页 |
| ·Navier—Stokes方程求解 | 第46-47页 |
| ·计算模拟 | 第47-57页 |
| ·模拟的可能性及思路 | 第47页 |
| ·电渗势场模拟结果 | 第47-50页 |
| ·近壁电势模拟结果 | 第50-52页 |
| ·动电驱动流模拟结果 | 第52-57页 |
| ·小结 | 第57-58页 |
| 4 微流控分析芯片中微流体动电效应的实验研究 | 第58-73页 |
| ·实验装置及工作原理 | 第58-59页 |
| ·实验装置 | 第58-59页 |
| ·工作原理 | 第59页 |
| ·实验试剂 | 第59页 |
| ·实验步骤 | 第59-61页 |
| ·测速原理 | 第61页 |
| ·实验结果与讨论 | 第61-71页 |
| ·直通道中的电渗流速 | 第61-62页 |
| ·不同构型微通道中的电渗流场 | 第62-71页 |
| ·T型微通道 | 第62-64页 |
| ·十字型微通道 | 第64-65页 |
| ·窄十字型微通道 | 第65-67页 |
| ·Y型微通道 | 第67-69页 |
| ·L型微通道 | 第69-70页 |
| ·圆弧型微通道 | 第70-71页 |
| ·小结 | 第71-73页 |
| 5 结论 | 第73-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-80页 |